[实用新型]一种用于干法硅烷制造的硅烷发生器

说明书

【技术领域】

本实用新型涉及一种干法硅烷的制造设备，具体涉及一种用于干法硅烷制造的硅烷发生器，属于干法硅烷制造技术领域。

【背景技术】

众所周知，硅烷是现代微电子和新能源工业中一种非常重要的高纯硅源气体。目前，硅烷的制备技术中，硅化镁法具有硅烷产率高，流程简单，反应原料易得，设备投资少等突出优点，被广泛关注。

硅化镁法的应式为：Mg₂Si+4NH₄Cl＝2MgCl₂+SiH₄+4NH₃，并以液氨为媒介。由此可见，上述硅化镁法生产硅烷要消耗大量的液氨，并且会产生大量副产物，增加了生产成本。

因此，为避免上述技术问题，确有必要提供一种新型的用于干法硅烷制造的硅烷发生器，以克服现有技术中的所述缺陷。

【实用新型内容】

为解决上述问题，本实用新型的目的在于提供一种结构简单、反应速度快、使用成本低且便于操作的用于干法硅烷制造的硅烷发生器。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：一种用于干法硅烷制造的硅烷发生器，其包括发生器筒体、若干层隔料板、主轴以及搅拌电机；其中，所述若干层隔料板收容于发生器筒体内，并呈堆叠设置；所述主轴竖直延伸入发生器筒体内，其顶部连接所述搅拌电机；于所述主轴上设有若干卡箍，各卡箍上安装有一对耙臂；所述耙臂上设有若干耙齿，所述耙齿位于隔料板的上方。

本实用新型的用于干法硅烷制造的硅烷发生器进一步设置为：于所述发生器筒体的顶部安装有一密封段，于该密封段内设有轴承，所述主轴支承于轴承上。

本实用新型的用于干法硅烷制造的硅烷发生器进一步设置为：于所述搅拌电机上罩有一电机罩，该电机罩固持于密封段的顶部。

本实用新型的用于干法硅烷制造的硅烷发生器进一步设置为：所述发生器筒体包括顶部的封头、中部的直筒段以及底部的锥段；于所述直筒段上的两侧设有一对支耳。

本实用新型的用于干法硅烷制造的硅烷发生器还设置为：所述隔料板呈水平设置，每一隔料板上方对应设有一对耙臂。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：本实用新型的用于干法硅烷制造的硅烷发生器利用耙齿的搅拌输送和隔料板的分层布料作用，使物料混合均匀并具有一定的秩序，加快了反应速率，增加了反应收率，同时减少了液氨的用量，从而降低了成本。

【附图说明】

图1是本实用新型的用于干法硅烷制造的硅烷发生器的示意图。

【具体实施方式】

请参阅说明书附图1所示，本实用新型为一种用于干法硅烷制造的硅烷发生器，其安装在硅化镁和氯化铵两物料混合之后，其由发生器筒体1、若干层隔料板2、主轴3以及搅拌电机4等几部分组成。

其中，所述发生器筒体1包括顶部的封头11、中部的直筒段12以及底部的锥段13。于所述直筒段12上的两侧设有一对支耳5，从而能对发生器起到固定作用。

所述若干层隔料板2收容于发生器筒体1内，并呈堆叠设置。各隔料板2均呈水平设置，其用于实现物料混合均匀并具有一定的秩序。

所述主轴3竖直延伸入发生器筒体1内，其顶部连接所述搅拌电机4，使搅拌电机4驱动主轴3转动。于所述主轴3上设有若干卡箍6，各卡箍6上安装有一对耙臂7。每一隔料板2上方对应设有一对耙臂7。所述耙臂7上设有若干耙齿8。所述耙齿8位于隔料板2的上方，其对物料有搅拌和输送的作用。

进一步的，于所述发生器筒体1的顶部安装有一密封段9，于该密封段9内设有轴承10，所述主轴3支承于轴承10上。

于所述搅拌电机4上罩有一电机罩14，该电机罩14固持于密封段9的顶部。该密封段9能防止发生器筒体1向电机罩14内漏气，保护搅拌电机4。

以上的具体实施方式仅为本创作的较佳实施例，并不用以限制本创作，凡在本创作的精神及原则之内所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本创作的保护范围之内。