[实用新型]单晶炉夹取装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及单晶炉装置技术领域，特别涉及单晶炉夹取装置。

背景技术

目前将单晶硅晶棒取出的方法一般是由操作人员带上手套，用钳子将晶棒夹出。然而这样的操作方式不仅存在危险性，而且单晶硅晶棒的破裂强度与抗拉强度均较小，且晶棒在下降过程中存在一定的晃动，因此晶棒很容易出现断裂，以及人工操作随意性交大，效率缓慢。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种方便快捷且安全的单晶炉夹取装置。

实现本实用新型的技术方案如下：

单晶炉夹取装置，包括机架和升降杆；所述机架上固定有上下两块夹持板；所述升降杆穿过两块夹持板上的通孔；所述升降杆底部连有油缸；所述升降杆的上部套装有一机械手，该机械手包括前端安装的手臂、以及末端安装的液压缸；所述液压缸和手臂之间通过连杆连接；所述机械手底部设有一固定杆，该固定杆起点连接手臂尾端底部，终点连接液压缸底部；位于手臂与连杆之间的固定杆上设有一通孔；所述升降杆的下部设有两个挡块。

所述升降杆与两个挡块的连接处各开有一个环形凹槽，所述两个挡块的一端套在环形凹槽上，使挡块与升降杆活动连接。方便将挡块固定在升降杆上

所述手臂包括两个竖杆与横杆形成“卜”字形的夹取杆、以及固定夹取杆的底座；所述两个夹取杆通过横杆上的螺孔水平连接于底座上。利用“卜”字形夹取单晶硅晶棒更牢固。

本实用新型的有益效果是：机架放置于地面上，用发动机械手夹住单晶硅晶棒的上部，再将两个挡块一左一右夹持住晶棒下部，随后松开两块夹持板，在利用底部的油缸推动升降杆上升，从而取出单晶硅晶棒。这样便能方便地将单晶硅晶棒取出，同时取出晶棒时不会抖动，使得单晶硅晶棒在被取出的过程中不会断裂，从而保证了操作的安全；而机械手夹取时，方便快捷并且成本低，又提高了工作效率。

附图说明

通过下面结合附图的详细描述，本实用新型前述的和其他的目的、特征和优点将变得显而易见。

其中：图1为实用新型结构示意图；

图2为本实用新型升降杆结构示意图；

图3为本实用新型手臂结构示意图；

附图中，1为机架，2为升降杆，3为夹持板，4为油缸，5为机械手，6为手臂，7为液压缸，8为连杆，9为固定杆，10为通孔，11为挡块，12为环形凹槽，13为夹取杆，14为底座，15为竖杆，16为横杆。

具体实施方式

参见图1-图4所示，单晶炉夹取装置，包括机架1和升降杆2；所述机架上固定有上下两块夹持板3；所述升降杆穿过两块夹持板上的通孔；所述升降杆底部连有油缸4；所述升降杆的上部套装有一机械手5，该机械手包括前端安装的手臂6、以及末端安装的液压缸7；所述液压缸和手臂之间通过连杆8连接；所述机械手底部设有一固定杆9，该固定杆起点连接手臂尾端底部，终点连接液压缸底部；位于手臂与连杆之间的固定杆上设有一通孔10；所述升降杆的下部设有两个挡块11。

利用机械手，升降杆的下部设有两个挡块，以及升降杆底部连有油缸。使用时将机架放置于单晶炉旁的地面上，用打开液压缸，推动机械手夹住单晶硅晶棒的上部，随后将两个挡块左右转动，夹持住单晶硅晶棒的下部，使其不会晃动，随后松开两块夹持板，并用油缸推动升降杆上升，从而取出单晶硅晶棒这样便能方便地将单晶硅晶棒取出，并且可以保证操作人员的安全，同时取出晶棒时不会抖动，使得单晶硅晶棒在被取出的过程中不会碰到单晶炉，从而保证了单晶硅晶棒的质量；而利用机械手代替人工操作不仅安全而且操作方便有效快捷，大大提高了劳动效率。

优选的，参见图2所示，升降杆2与两个挡块11的连接处各开有一个环形凹槽12，所述两个挡块的一端套在环形凹槽12上，使挡块与升降杆活动连接。方便将挡块固定在升降杆上。

优选的，参见图3-图4所示，手臂包括两个竖杆15与横杆16形成“卜”字形的夹取杆13、以及固定夹取杆的底座14；所述两个对称的夹取杆13通过横杆上的螺孔水平连接于底座14上。利用“卜”字形夹取单晶硅晶棒更牢固。