[实用新型]一种旋转平台机构有效
申请号: | 201320831321.7 | 申请日: | 2013-12-16 |
公开(公告)号: | CN203700509U | 公开(公告)日: | 2014-07-09 |
发明(设计)人: | 黄国兴;孙桂红;祝海生;黄乐;梁红;吴永光 | 申请(专利权)人: | 湘潭宏大真空技术股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56;C23C16/54 |
代理公司: | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人: | 冯子玲 |
地址: | 411101 湖*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 旋转 平台 机构 | ||
1.一种旋转平台机构,其特征在于,包括:
一驱动组件,所述驱动组件包括一第一驱动元件、一第二驱动元件和一电机,所述电机与所述第一驱动元件连接,所述第一驱动元件与所述第二驱动元件连接;
一旋转组件,所述旋转组件与所述驱动组件连接,所述旋转组件包括一固定架和一旋转盘,所述旋转盘与所述第二驱动元件连接,所述电机安装在所述固定架上;和
一限位组件,所述限位组件安装在所述旋转组件上,所述限位组件包括一旋转光电感应器、一感应棒和至少一个感应信号元件,所述感应信号元件与所述旋转光电感应器连接,所述感应信号元件与所述感应棒之间通过光电距离感应,所述感应信号元件设置在所述固定架上,所述旋转光电感应器和所述感应棒安装在所述旋转盘上。
2.根据权利要求1所述的旋转平台机构,其特征在于:所述旋转平台机构进一步包括一控制器,控制器与旋转光电感应器和电机连接。
3.根据权利要求2所述的旋转平台机构,其特征在于:所述控制器为PLC可编程控制器。
4.根据权利要求2所述的旋转平台机构,其特征在于:所述电机进一步包括一旋转轴,所述第一驱动元件设置在所述旋转轴上所述第一驱动元件与所述第二驱动元件通过齿轮啮合连接。
5.根据权利要求4所述的旋转平台机构,其特征在于:所述第一驱动元件为一齿轮,所述第二驱动元件为一回转支承,所述第一驱动元件与第二驱动元件通过齿轮啮合。
6.根据权利要求2所述的旋转平台机构,其特征在于:所述旋转光电感应器设置在所述旋转盘的一端,所述感应棒与所述感应信号元件之间通过光电距离感应。
7.根据权利要求2所述的旋转平台机构,其特征在于:所述限位组件进一步包括至少一个导位槽,所述感应棒安装在所述导位槽内。
8.根据权利要求1所述的旋转平台机构,其特征在于:所述旋转平台机构进一步包括一基片传送组件,所述基片传送组件固定在所述旋转盘上。
9.根据权利要求8所述的旋转平台机构,其特征在于:所述基片传送组件进一步包括至少一个传动座和一驱动电机,所述传动座与所述驱动电机连接,所述驱动电机驱动所述传动座传动。
10.根据权利要求1所述的旋转平台机构,其特征在于:旋转平台机构应用于真空镀 膜生产线中,所述真空镀膜生产线包括基片传送流水线和镀膜流水线,所述旋转平台机构设置在所述基片传送流水线与所述镀膜流水线的两端部,连接所述基片传送流水线和所述镀膜流水线。
11.根据权利要求6所述的旋转平台机构,其特征在于:所述感应信号元件围绕所述旋转盘的中心分布在所述固定架上,所述感应信号元件的分布位置与所述感应棒随所述旋转盘旋转的轨迹一致。
12.据权利要求7所述的旋转平台机构,其特征在于:所述导位槽围绕所述旋转盘的中心分布在所述旋转盘上,所述导位槽的分布位置与所述感应棒随所述旋转盘旋转的轨迹一致。
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