[实用新型]一种旋转平台机构有效
申请号: | 201320831321.7 | 申请日: | 2013-12-16 |
公开(公告)号: | CN203700509U | 公开(公告)日: | 2014-07-09 |
发明(设计)人: | 黄国兴;孙桂红;祝海生;黄乐;梁红;吴永光 | 申请(专利权)人: | 湘潭宏大真空技术股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56;C23C16/54 |
代理公司: | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人: | 冯子玲 |
地址: | 411101 湖*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 旋转 平台 机构 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种真空镀膜生产线领域,具体说,是涉及一种用于真空镀膜生产线的旋转平台机构。
背景技术
真空镀膜技术初现于20世纪30年代,四五十年代开始出现工业应用,工业化大规模生产开始于20世纪80年代,在电子、宇航、包装、装潢、烫金印刷等工业中取得广泛的应用。真空镀膜技术是一种新颖的材料合成与加工的新技术,是表面工程技术领域的重要组成部分。真空镀膜技术是利用物理、化学手段将固体表面涂覆一层特殊性能的镀膜,从而使固体表面具有耐磨损、耐高温、耐腐蚀、抗氧化、防辐射、导电、导磁、绝缘和装饰灯许多优于固体材料本身的优越性能,达到提高产品质量、延长产品寿命、节约能源和获得显著技术经济效益的作用。需要镀膜的玻璃或其他材料被称为基片,镀的材料被称为靶材。
为了节约占地面积和提高工作效率,本实用新型人提供了一种将基片传送流水线与镀膜流水线平行设置的生产线,然后建立圆弧轨道连接在一起。然而这种连接方式,基片传送装置需要是柔性的,或者说基片传送装置是能弯曲的,然而传送装置一般传送的基片一般为整块的,例如玻璃、塑料,需要传送装置很平稳的将基片传送至进口腔内,这样就使得圆弧轨道的弧度很大,这样占地面积将扩大,而且当传送装置在圆弧轨道上运行时,基片传送装置的稳定性不可靠,特别是当传送装置“转弯”时,基片传送装置很有可能因为重心不稳,基片传送装置倒下,造成装置损坏和人员伤亡的情况。因此,如何使基片安全可靠的调转方向180度镀膜是亟需解决的问题。
发明内容
针对现有技术存在的上述问题,本实用新型的目的是提供一种旋转平台机构,该旋转平台机构应用于真空镀膜生产线中,使基片安全可靠迅速的运送,节约占地面积,提高工作效率。
为实现上述发明目的,本实用新型采用的技术方案如下:
一种旋转平台机构,包括:
一驱动组件,驱动组件包括一电机、一第一驱动元件和一第二驱动元件,电机与第一驱动元件连接,第一驱动元件与第二驱动元件连接;
一旋转组件,旋转组件与驱动组件连接,旋转组件包括一固定架和一旋转盘,旋转盘与第二驱动元件连接,电机安装在固定架上;和
一限位组件,限位组件固定在旋转组件上,限位组件包括一旋转光电感应器、一感应棒和至少一个感应信号元件,感应信号元件与旋转光电感应器连接,感应信号元件与感应棒之间通过光电距离感应,感应信号元件设置在固定架上,旋转光电感应器和感应棒安装在旋转盘上。
优选地,旋转平台机构进一步包括一控制器,控制器与旋转光电感应器和电机连接。
更优选地,该控制器优选为PLC可编程控制器。
优选地,电机进一步包括一旋转轴,第一驱动元件设置在旋转轴上。
优选地,第二驱动元件设置在旋转盘上,第一驱动元件与第二驱动元件通过齿轮啮合连接,电机上的旋转轴驱动第一驱动元件运动,第一驱动元件带动第二驱动元件运动。
更优选地,第一驱动元件为一齿轮,第二驱动元件为一回转支承,第一驱动元件与第二驱动元件通过齿轮啮合。
优选地,旋转平台机构进一步包括基片传送组件,基片传送组件固定在旋转盘上,当旋转盘旋转时,带动基片传送组件随同旋转盘运动。
更优选地,基片传送组件进一步包括至少一个传动座和一驱动电机,传动座与驱动电机连接,驱动电机驱动传动座传动,这样带动传动座上的基片运动。
优选地,旋转平台机构的旋转盘的直径不小于基片或基片架的直径。
优选地,旋转光电感应器设置在旋转盘的一端,感应棒与感应信号元件之间通过光电距离感应,感应信号元件围绕旋转盘的中心分布在固定架,感应信号元件的分布位置与感应棒随旋转盘旋转的轨迹一致。
更优选地,感应棒与感应信号元件之间的距离不大于10mm时,感应信号元件发射信号给旋转光电感应器。
更优选地,限位组件进一步包括至少一个导位槽,导位槽围绕旋转盘的中心分布在旋转盘上,导位槽的分布位置与感应棒随旋转盘旋转的轨迹一致,感应棒安装在导位槽内。
优选地,真空镀膜生产线包括基片传送流水线与镀膜流水线,旋转平台机构设置在基片传送流水线与镀膜流水线的两端部,连接基片传送流水线和镀膜流水线。
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