[实用新型]一种掩模组件

权利要求书

1.一种掩模组件，包括掩模框和掩模板，所述掩模板固定于所述掩模框上，所述掩模板上设有由蒸镀孔阵列而成的掩模图案区域，其特征在于：所述蒸镀孔由多边形开口及设置在所述多边形开口边角处的补偿开口构成，所述补偿开口构成所述多边形开口的外延结构，所述掩模板为一体成型结构或由分立的掩模单元组成。

2.根据权利要求1所述的掩模组件，其特征在于，所述补偿开口为由一条弧线和两条线段围成的与所述多边形开口连通的外延结构，所述两条线段的一端分别与所述多边形开口相邻的两边连接，所述两条线段的另一端分别与所述弧线的两个端点连接。

3.根据权利要求2所述的掩模组件，其特征在于，所述两条线段所在直线所成的夹角为0°～80°。

4.根据权利要求3所述的掩模组件，其特征在于，所述两条线段中的任意一条线段所在的直线与其连接的所述多边形开口的相应边所在的直线呈0°～90°夹角。

5.根据权利要求1所述的掩模组件，其特征在于，所述补偿开口为由两条线段围成的与所述多边形开口连通的外延结构，所述两条线段的一端分别与所述多边形开口相邻的两边连接，所述两条线段的另一端相交于一点。

6.根据权利要求5所述的掩模组件，其特征在于，所述两条线段所成的夹角为10°～80°，所述两条线段中的任意一条线段所在的直线与其连接的所述多边形开口的相应边所在的直线呈0°～90°夹角。

7.根据权利要求1所述的掩模组件，其特征在于，所述补偿开口为由弧线围成的与所述多边形开口连通的外延结构，所述弧线的两个端点分别与所述多边形开口相邻的两边连接。

8.根据权利要求1所述的掩模组件，其特征在于，所述掩模板通过电铸工艺制备或通过蚀刻工艺制备。

9.根据权利要求1所述的掩模组件，其特征在于，所述蒸镀孔的宽度为20～80μm。

10.根据权利要求1所述的掩模组件，其特征在于，所述掩模板为镍基合金材质。