[实用新型]一种掩模组件

说明书

技术领域

本实用新型涉及OLED制造领域，尤其涉及一种蒸镀用的掩模组件。

背景技术

    有机发光二极管（OLED）显示器，是自二十世纪末期以来取得广泛应用的一种平板显示器。OLED相对其它显示屏，具有厚度薄、重量轻、功耗小、响应快、可视范围宽、抗摔性能好、适用温度范围宽、自发光不需要背光灯等很多突出的优点，因此OLED逐渐成为未来20年成长最快的新型显示技术。

制造OLED显示器很重要的一道工序是将有机发光材料蒸镀到ITO半导体玻璃表面。蒸镀工序中，有机材料由蒸镀源蒸发通过掩模板的蒸镀孔附着到ITO半导体玻璃面上，掩模板蒸镀孔的精度决定蒸镀质量，蒸镀质量又直接决定OLED显示器质量，因此提高掩模板的蒸镀孔的精度至关重要。掩模板蒸镀孔宽度的尺寸为20～100μm,因为蒸镀孔尺寸很小，所以对蒸镀孔精度的要求非常高。

制作OLED显示器的有机层时用到的蒸镀用掩模组件，如图1所示，为掩模组件整体平面结构示意图，掩模组件包括掩模框14，掩模板10，掩模板10上设有由蒸镀孔排列而成的掩模图案区域11，12为将掩模板通过激光焊接固定于掩模框14上形成的焊点，图2所示为图1中13部分放大示意图，20为蒸镀孔，图2中21部分的放大示意图如图3所示，图3中预设的蒸镀孔是矩形结构，但由于制作过程中存在偏差，直角矩形蒸镀孔变成圆角矩形的蒸镀孔20，如图3中四个直角处由虚线表示的矩形为预设的直角矩形，实际制作的圆角矩形相对于预设的直角矩形蒸镀孔开口偏小，开口率不高，从而影响到掩模图案区域蒸镀孔的质量，直接导致OLED显示器的质量不高。鉴于此，业内亟需一种能够解决此问题的方案。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供一种掩模组件，目的在于提高掩模组件蒸镀孔的开口率，从而提高OLED显示器的质量。

本实用新型提供了一种掩模组件，包括掩模框和掩模板，所述掩模板固定于所述掩模框上，所述掩模板上设有由蒸镀孔阵列而成的掩模图案区域，其特征在于：所述蒸镀孔由多边形开口及设置在所述多边形开口边角处的补偿开口构成，所述补偿开口构成所述多边形开口的外延结构，所述掩模板为一体成型结构或由分立的掩模单元组成。

进一步地，所述补偿开口为由一条弧线和两条线段围成的与所述多边形开口连通的外延结构，所述两条线段的一端分别与所述多边形开口相邻的两边连接，所述两条线段的另一端分别与所述弧线的两个端点连接。

进一步地，所述两条线段所在直线所成的夹角为0°～80°。

进一步地，所述两条线段中的任意一条线段所在的直线与其连接的所述多边形开口的相应边所在的直线呈0°～90°夹角。

进一步地，所述补偿开口为由两条线段围成的与所述多边形开口连通的外延结构，所述两条线段的一端分别与所述多边形开口相邻的两边连接，所述两条线段的另一端相交于一点。

进一步地，所述两条线段所成的夹角为10°～80°，所述两条线段中的任意一条线段所在的直线与其连接的所述多边形开口的相应边所在的直线呈0°～90°夹角。

进一步地，所述补偿开口为由弧线围成的与所述多边形开口连通的外延结构，所述弧线的两个端点分别与所述多边形开口相邻的两边连接。

进一步地，所述掩模板通过电铸工艺制备或通过蚀刻工艺制备。

进一步地，所述蒸镀孔的宽度为20～80μm。

进一步地，所述掩模板为镍基合金材质。

本实用新型的有益效果在于，掩模板上的蒸镀孔由多边形开口及设置在多边形开口边角处的补偿开口构成，补偿开口构成多边形开口的外延结构，蒸镀孔设置补偿开口提高了掩模组件上蒸镀孔的开口率，从而有效地提高OLED显示器的质量。

本实用新型附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1所示为一种掩模组件的平面结构示意图；

图2所示为图1中13部分放大示意图；

图3所示为图2中21部分放大示意图；

图4所示为一种掩模组件的平面结构示意图；

图5所示为图4中41部分放大示意图；

图6～图13所示为几种蒸镀孔结构放大示意图；

其中，图1中，10为掩模板，11为掩模图案区域， 12为焊点，13为待放大观测部分，14为掩模框；