[实用新型]扩散炉尾气收集装置有效

专利信息
申请号: 201320867781.5 申请日: 2013-12-26
公开(公告)号: CN203631579U 公开(公告)日: 2014-06-04
发明(设计)人: 王英超;郎芳;李高非;史金超 申请(专利权)人: 英利集团有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L21/228
代理公司: 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人: 吴贵明;张永明
地址: 071051 河*** 国省代码: 河北;13
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摘要:
搜索关键词: 扩散 尾气 收集 装置
【权利要求书】:

1.一种扩散炉尾气收集装置,包括:

壳体(10),所述壳体(10)包括内腔及与所述内腔连通的进气口(11)和排气口(12),

其特征在于,所述扩散炉尾气收集装置还包括:

障壁(20),所述障壁(20)设置在所述内腔中,相邻所述障壁(20)之间和/或所述障壁(20)与所述壳体(10)的内壁之间形成有连通所述进气口(11)和所述排气口(12)的气流通道。

2.根据权利要求1所述的扩散炉尾气收集装置,其特征在于,所述障壁(20)包括相对设置的第一障壁(21)和第二障壁(22),所述第一障壁(21)和所述第二障壁(22)之间、所述第一障壁(21)与所述壳体(10)之间以及所述第二障壁(22)与所述壳体(10)之间形成所述气流通道。

3.根据权利要求2所述的扩散炉尾气收集装置,其特征在于,所述第一障壁(21)和所述第二障壁(22)的截面呈圆弧状,并且所述第一障壁(21)的半径小于所述第二障壁(22)的半径。

4.根据权利要求2或3所述的扩散炉尾气收集装置,其特征在于,所述障壁(20)还包括相对设置的第三障壁(23)和第四障壁(24),所述第三障壁(23)和所述第四障壁(24)设置在所述第一障壁(21)和所述第二障壁(22)的周向外侧,所述第一障壁(21)、所述第二障壁(22)、所述第三障壁(23)和所述第四障壁(24)中的任意两者之间、所述第三障壁(23)与所述壳体(10)之间以及所述第四障壁(24)与所述壳体(10)之间形成所述气流通道。

5.根据权利要求4所述的扩散炉尾气收集装置,其特征在于,所述第三障壁(23)和所述第四障壁(24)的截面呈圆弧状,并且所述第三障壁(23)的半径小于所述第四障壁(24)的半径。

6.根据权利要求5所述的扩散炉尾气收集装置,其特征在于,所述第一障壁(21)的开口方向与所述第二障壁(22)的开口方向沿第一径向方向彼此相对,所述第一障壁(21)的侧边沿与所述第二障壁(22)的侧边沿之间形成所述气流通道的第一通道间隙,所述第四障壁(24)的开口方向与所述第三障壁(23)的开口方向沿第二径向方向彼此相对,所述第四障壁(24)的侧边沿与所述第三障壁(23)的侧边沿之间形成所述气流通道的第二通道间隙,所述第一径向方向与所述第二径向方向呈角度。

7.根据权利要求6所述的扩散炉尾气收集装置,其特征在于,所述第一径向方向与所述第二径向方向垂直。

8.根据权利要求4所述的扩散炉尾气收集装置,其特征在于,所述第一障壁(21)、所述第二障壁(22)、所述第三障壁(23)和所述第四障壁(24)的表面均具有凸起。

9.根据权利要求6所述的扩散炉尾气收集装置,其特征在于,还包括支撑件(30)和连接件(40),所述支撑件(30)固定设置在所述第一障壁(21)和所述第二障壁(22)之间,所述连接件(40)包括第一连接件(41)、第二连接件(42)、第三连接件(43)和第四连接件(44),所述第一障壁(21)与所述支撑件(30)通过所述第一连接件(41)连接,所述第二障壁(22)与所述支撑件(30)通过所述第二连接件(42)连接,所述第三障壁(23)与所述支撑件(30)通过所述第三连接件(43)连接,所述第四障壁(24)与所述支撑件(30)通过所述第四连接件(44)连接。

10.根据权利要求9所述的扩散炉尾气收集装置,其特征在于,所述第一连接件(41)和所述第二连接件(42)沿所述第一径向方向布置,所述第三连接件(43)和所述第四连接件(44)沿所述第二径向方向布置。

11.根据权利要求10所述的扩散炉尾气收集装置,其特征在于,所述第一连接件(41)、所述第二连接件(42)、所述第三连接件(43)和所述第四连接件(44)之间形成十字形。

12.根据权利要求6所述的扩散炉尾气收集装置,其特征在于,所述第三障壁(23)的两个侧边沿伸入至所述第四障壁(24)的开口内。

13.根据权利要求1所述的扩散炉尾气收集装置,其特征在于,所述进气口(11)设置在所述壳体(10)的端壁上,所述排气口(12)设置在所述壳体(10)的侧壁上。

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