[实用新型]扩散炉尾气收集装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池技术领域，具体而言，涉及一种扩散炉尾气收集装置。

背景技术

在半导体制造或者太阳能电池领域，扩散工序中比较常用的扩散设备是扩散炉，扩散工序的工艺气体一般是指氧气、氮气、源气体（如三氯氧磷、三溴化硼等）。工艺气体在扩散炉管内经过化学反应后，被排出扩散炉管的废气体（残留的工艺气体和反应后产生的气体）称为尾气。如图1所示，扩散炉尾气处理装置包括残液罐2、排风管路3和排风机4，残液罐2设在扩散炉1与排风管路3之间，残液罐2起到冷却尾气、收集尾气的作用。工艺气体在扩散炉管内经过化学反应，会产生一些尾气，这些尾气在经过扩散炉1的尾气管、残液罐2的冷却后，部分尾气通过排风管路3从排风机4排出。但是，这些有害尾气的沸点都在200度左右，只靠残液罐冷却不能将所有的尾气都冷却至液态，会导致部分尾气被直接排出，使残液罐2冷却收集尾气的效果不佳。

具体地，硅片在经过制绒工序做表面处理后会采用纯水长时间的清洗，清洗后进行干燥处理。但是，清洗后还会有少部分的水分存在硅片内部，当硅片进入扩散工艺后水分会挥发出来。以磷扩散为例，扩散工艺用到的源气体是三氯氧磷，在扩散炉1中，三氯氧磷和氧气反应生成五氧化二磷，五氧化二磷与硅反应生成二氧化硅和单质磷，磷原子与硅结合形成了PN结。反应后尾气中包含没有反应完全的三氯氧磷、五氧化二磷，由于五氧化二磷在300度以上是气态，五氧化二磷遇到上述水分会形成偏磷酸。由于五氧化二磷具有很强的腐蚀性和偏磷酸有剧毒，这两种尾气都会对人体呼吸道造成很大的伤害。由于残液罐2的冷却效果不佳，经过残液罐2冷却之后会有部分五氧化二磷和偏磷酸被与残液罐排气口连接的排风管路3排出。这样会导致排出的尾气太多，如果尾气不能及时被处理就会污染环境，对人体和环境造成危害。

实用新型内容

本实用新型旨在提供一种扩散炉尾气收集装置，以解决现有技术中残液罐冷却效果不佳的问题。

为了实现上述目的，本实用新型提供了一种扩散炉尾气收集装置，包括：壳体，壳体包括内腔及与内腔连通的进气口和排气口，扩散炉尾气收集装置还包括：障壁，障壁设置在内腔中，相邻障壁之间和/或障壁与壳体的内壁之间形成有连通进气口和排气口的气流通道。

进一步地，障壁包括相对设置的第一障壁和第二障壁，第一障壁和第二障壁之间、第一障壁与壳体之间以及第二障壁与壳体之间形成气流通道。

进一步地，第一障壁和第二障壁的截面呈圆弧状，并且第一障壁的半径小于第二障壁的半径。

进一步地，障壁还包括相对设置的第三障壁和第四障壁，第三障壁和第四障壁设置在第一障壁和第二障壁的周向外侧，第一障壁、第二障壁、第三障壁和第四障壁中的任意两者之间、第三障壁与壳体之间以及第四障壁与壳体之间形成气流通道。

进一步地，第三障壁和第四障壁的截面呈圆弧状，并且第三障壁的半径小于第四障壁的半径。

进一步地，第一障壁的开口方向与第二障壁的开口方向沿第一径向方向彼此相对，第一障壁的侧边沿与第二障壁的侧边沿之间形成气流通道的第一通道间隙，第四障壁的开口方向与第三障壁的开口方向沿第二径向方向彼此相对，第四障壁的侧边沿与第三障壁的侧边沿之间形成气流通道的第二通道间隙，第一径向方向与第二径向方向呈角度。

进一步地，第一径向方向与第二径向方向垂直。

进一步地，第一障壁、第二障壁、第三障壁和第四障壁的表面均具有凸起。

进一步地，扩散炉尾气收集装置还包括支撑件和连接件，支撑件固定设置在第一障壁和第二障壁之间，连接件包括第一连接件、第二连接件、第三连接件和第四连接件，第一障壁与支撑件通过第一连接件连接，第二障壁与支撑件通过第二连接件连接，第三障壁与支撑件通过第三连接件连接，第四障壁与支撑件通过第四连接件连接。

进一步地，第一连接件和第二连接件沿第一径向方向布置，第三连接件和第四连接件沿第二径向方向布置。

进一步地，第一连接件、第二连接件、第三连接件和第四连接件之间形成十字形。

进一步地，第三障壁的两个侧边沿伸入至第四障壁的开口内。

进一步地，进气口设置在壳体的端壁上，排气口设置在壳体的侧壁上。