[实用新型]边缘可拼接的光罩有效
| 申请号： | 201320879744.6 | 申请日： | 2013-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN203644820U | 公开（公告）日： | 2014-06-11 |
| 发明（设计）人： | 崔相玉 | 申请（专利权）人： | 徐州同鑫光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/58 | 分类号： | H01L33/58 |
| 代理公司： | 徐州支点知识产权代理事务所(普通合伙) 32244 | 代理人： | 唐猛 |
| 地址： | 221000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 边缘 拼接 | ||
【权利要求书】：
1.一种边缘可拼接的光罩，包括上边（1）、下边（2）、短边Ⅰ（3）、短边Ⅱ（4）、短边Ⅲ（5）和模壳（6），其特征在于，光罩为一体成型，上边（1）至短边Ⅰ（3）距离为12μm至16μm，短边Ⅰ（3）至短边Ⅱ（4）距离为10μm至14μm，短边Ⅱ（4）至短边Ⅲ（5）距离为12μm至16μm，短边Ⅲ（5）至下边（2）的距离为11μm至15μm，模壳（6）的直径为11.5μm，模壳（6）之间的间距为3.5μm。
2.根据权利要求1所述的边缘可拼接的光罩，其特征在于，所述的上边（1）至短边Ⅰ（3）距离为14.5μm。
3.根据权利要求1所述的边缘可拼接的光罩，其特征在于，所述的短边Ⅰ（3）至短边Ⅱ（4）距离为12.5μm。
4.根据权利要求1所述的边缘可拼接的光罩，其特征在于，所述的短边Ⅱ（4）至短边Ⅲ（5）距离为14.5μm。
5.根据权利要求1所述的边缘可拼接的光罩，其特征在于，所述的短边Ⅲ（5）至下边（2）的距离为13.5μm。
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