[实用新型]边缘可拼接的光罩

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种光罩，具体是一种边缘可拼接的光罩。

背景技术

随着化石燃料枯竭，环境污染加剧，环保节能的 LED 广受关注和好评。LED的结构是PN 结二极管状态下，在氮化镓中加入镁和硫，形成 P层和 N层，进而在 P层和 N层之中形成多量子阱层，连接电源使其发光， LED发光的方向不是单一的，而是所有方向都能发光，并通过 LED 制造工艺中的封装技术进行强化，在蓝宝石衬底表面制作图形模式下实现放射光源的反射。因此，蓝宝石衬底的质量会影响到LED发光的效率，特别是在蓝宝石衬底上制造图形模式的技术就特别重要。图形模式完整的方法是通过调节边缘的空间，保持光罩的边缘的图形模式的完整性，从而提高蓝宝石衬底的品质,但是现有的光罩（说明书附图中图一）的图形和图形的边缘的重叠结合部位形成的图形容易发成偏移，无法保证单位面积上的图形完整。

发明内容

针对上述现有技术存在的问题，本实用新型提供一种边缘可拼接的光罩，保证图形和图形的边缘的重叠结合部位形成的图形不容易发成偏移，实现单位面积上的图形完整性。

为了实现上述目的，本实用新型通过以下技术方案实现：一种边缘可拼接的光罩，包括上边、下边、短边Ⅰ、短边Ⅱ、短边Ⅲ和模壳，光罩为一体成型，上边至短边Ⅰ距离为12μm至16μm，短边Ⅰ至短边Ⅱ距离为10μm至14μm，短边Ⅱ至短边Ⅲ距离为12μm至16μm，短边Ⅲ至下边的距离为11μm至15μm，模壳的直径为11.5μm，模壳之间的间距为3.5μm。

所述的上边至短边Ⅰ距离为14.5μm。

所述的短边Ⅰ至短边Ⅱ距离为12.5μm。

所述的短边Ⅱ至短边Ⅲ距离为14.5μm。

所述的短边Ⅲ至下边的距离为13.5μm。。

本实用新型的有益效果是：调节了边缘的空间，以保证在进行多次曝光时，使得间的边缘能呈现完整的图形而进行的改造，对于模壳方面的要求是保证单位面积上的模壳完整和正常，在曝光时，模壳和模壳的边缘的重叠结合部位形成的模壳不会发生偏移，边缘结构和之间交合所形成的模壳不会被切分，通过调整边缘空间在进行多次曝光时，不会再对图形造成损坏，从而提高工艺区间的管控范围。

附图说明

图1是现有光罩的结构示意图；

图2是本实用新型的结构示意图。

图中：1、上边，2、下边，3、短边Ⅰ，4、短边Ⅱ，5、短边Ⅲ，6、模壳。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步说明。

如图2所示，本边缘可拼接的光罩，包括上边1、下边2、短边Ⅰ3、短边Ⅱ4、短边Ⅲ5和模壳6，光罩为一体成型，上边1至短边Ⅰ3距离为12μm至16μm，在生产过程中发现当上边1至短边Ⅰ3距离为14.5μm时，生产成本最低，可以最大限度的提高工艺区间的管控范围，最大程度的保证模壳6的完整性；短边Ⅰ3至短边Ⅱ4距离为10μm至14μm，在生产过程中发现当短边Ⅰ3至短边Ⅱ4距离为12.5μm，生产成本最低，可以最大限度的提高工艺区间的管控范围，最大程度的保证模壳6的完整性；短边Ⅱ4至短边Ⅲ5距离为12μm至16μm，在生产过程中发现当短边Ⅱ4至短边Ⅲ5距离为14.5μm，生产成本最低，可以最大限度的提高工艺区间的管控范围，最大程度的保证模壳6的完整性；短边Ⅲ5至下边2的距离为11μm至15μm，在生产过程中发现当短边Ⅲ5至下边2的距离为13.5μm，生产成本最低，可以最大限度的提高工艺区间的管控范围，最大程度的保证模壳6的完整性；模壳6的直径为11.5μm，模壳6之间的间距为3.5μm。