[实用新型]提高抽真空效率的装置及采用其的3290溅射机台

权利要求书

1.一种提高抽真空效率的装置，包括两个24V继电器，每个继电器分别连接常闭开关和常开开关，其中继电器的输出端连接常闭开关的输入端，常闭开关的输出端连接常开开关的输入端，再将两个常开开关与一个时间继电器串联连接。

2.根据权利要求1所述的提高抽真空效率的装置，其特征在于：所述时间继电器为延时继电器。

3.一种采用如权利要求1或2所述装置的3290溅射机台，气体进气管路一根主管路进到机台后，分到Process AR、RF以及2#、3#和4#，管路V5为进入腔体工艺的Ar管路，管路V1为RF管路为进入到刻蚀腔的Ar气体，管路V2、管路V3、管路V4分别为连接到2#、3#、4#，为Heater的Back side Ar，所述每个管路均有控制管路开闭的电磁阀，其特征在于：将权利要求1或2所述提高抽真空效率的装置的两个时间继电器分别连接3290溅射机台的Master Ar和Hi Vac的电磁阀上，所述时间继电器与管路V1的电磁阀连接。