[实用新型]平板式PECVD设备及其气路装置

权利要求书

1.一种平板式PECVD气路装置，其特征在于，包括：

供气管道（10），所述供气管道（10）上设置有多个特气气孔（11）；

多个磁性接头（20），设置在所述供气管道（10）上并与多个所述特气气孔（11）一一对应地连接。

2.根据权利要求1所述的平板式PECVD气路装置，其特征在于，还包括连接管道（30），所述连接管道（30）连接在气源和所述供气管道（10）之间。

3.根据权利要求2所述的平板式PECVD气路装置，其特征在于，所述连接管道（30）包括总管道（31）和与所述总管道（31）连接的多根支流管道（32），所述总管道（31）与所述气源连接，多根所述支流管道（32）均与所述供气管道（10）连接。

4.根据权利要求3所述的平板式PECVD气路装置，其特征在于，还包括流量计（40），所述流量计（40）设置在所述总管道（31）上。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的平板式PECVD气路装置，其特征在于，所述供气管道（10）为磁性管道。

6.根据权利要求1至4中任一项所述的平板式PECVD气路装置，其特征在于，多个所述特气气孔（11）沿所述供气管道（10）的长度方向均匀设置，且各所述特气气孔（11）的出气方向朝向平板式PECVD设备的工艺腔。

7.根据权利要求6所述的平板式PECVD气路装置，其特征在于，多个所述磁性接头（20）一一对应地设置在多个所述特气气孔（11）的靠近所述工艺腔的一侧。

8.根据权利要求1至4中任一项所述的平板式PECVD气路装置，其特征在于，多个所述磁性接头（20）一一对应地嵌设在所述特气气孔（11）内。

9.一种平板式PECVD设备，包括平板式PECVD气路装置，其特征在于，所述平板式PECVD气路装置为权利要求1至8中任一项所述的平板式PECVD气路装置。