[实用新型]一种真空实验平台

权利要求书

1.一种真空实验平台，其特征在于：包括为被检工件提供真空环境和用于真空指示的真空系统，为真空系统各部件提供电源的电源控制系统，与被检工件进行匹配连接的接口系统；所述真空系统包括依次相连的机械泵、分子泵、离子泵；还包括复合真空计，所述真空系统包括位于真空泵和被检工件系统通道的电阻真空规和位于离子泵端的冷阴极真空规，所述复合真空计为冷阴极真空规和电阻真空规提供电源，并测量和显示冷阴极真空规和电阻真空规检测的真空度。 

2.根据权利要求1所述的一种真空实验平台，其特征在于：所述机械泵和分子泵之间置有第六挡板阀门(F6)，在分子泵和离子泵之间置有第四、五挡板阀门(F4、F5)，冷阴极真空规位于第四、五挡板阀门(F4、F5)之间，第四、五挡板阀门(F4、F5)之间的位置依次通过第三、一挡板阀门(F3、F1)与接口系统相连，第三、一挡板阀门(F3、F1)之间连接有第二挡板阀门(F2)，第二挡板阀门(F2)与机械泵相连，所述电阻真空规位于机械泵和第六挡板阀门(F6)之间。 

3.根据权利要求2所述的一种真空实验平台，其特征在于：所述机械泵为RVP-2型前级机械泵，工作范围为大气压至1×10^-2Pa；所述分子泵为FD-110A型涡轮分子泵，工作范围1×10^-1～1×10^-8Pa；所述离子泵为抽速为25L/S的2L-25型溅射式钛离子泵；所述复合真空计为ZDF-42C型。 

4.根据权利要求3所述的一种真空实验平台，其特征在于：所述接口系统包括KF25标准接口、KF16标准接口、KF25焊接圆盘接口、KF16焊接法兰接口。