[实用新型]一种真空实验平台

说明书

技术领域

本实用新型属于无机化学仪器分析领域，具体涉及一种真空实验平台。 

背景技术

使用氦质谱检漏仪对质谱仪真空组件进行检漏，由于高真空设备及组件漏点很小，而氦质谱检漏仪检漏时，氦气扩散面大，漏点只能确定在一定范围内，不能快速、准确的判断漏点，这样给寻找漏点及漏点的处理带来一定困难。 

每台质谱仪在安装调试之前必须对其对各真空组件进行全面检漏，需检漏的部分包括：各阀门组件、管道、四通和分析管等。这些真空组件接口大小不一，形体差异大，数量较多，为了快速、准确的判断漏点，因此需要一种启动速度快、灵敏度高、漏点定位准确同时又具备抽空功能的设备。 

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种启动速度快、灵敏度高、漏点定位准确同时又具备抽空功能的真空实验平台。 

本实用新型是这样实现的： 

一种真空实验平台，包括为被检工件提供真空环境和用于真空指示的真空系统，为真空系统各部件提供电源的电源控制系统，与被检工件进行匹配连接的接口系统；所述真空系统包括依次相连的机械泵、分子泵、离子泵；还包括复合真空计，所述真空系统包括位于真空泵和被检工件系统通道的电阻真空规和位于离子泵端的冷阴极真空规，所述复合真空计为冷阴极真空规和电阻真空规提供电源，并测量和显示冷阴极真空规和电阻真空规检测的真空度。 

如上所述的一种真空实验平台，其中：所述机械泵和分子泵之间置有第 六挡板阀门，在分子泵和离子泵之间置有第四、五挡板阀门，冷阴极真空规位于第四、五挡板阀门之间，第四、五挡板阀门之间的位置依次通过第三、一挡板阀门与接口系统相连，第三、一挡板阀门之间连接有第二挡板阀门，第二挡板阀门与机械泵相连，所述电阻真空规位于机械泵和第六挡板阀门之间。 

如上所述的一种真空实验平台，其中：所述机械泵为RVP-2型前级机械泵，工作范围为大气压至1×10^-2Pa；所述分子泵为FD-110A型涡轮分子泵，工作范围1×10^-1～1×10^-8Pa；所述离子泵为抽速为25L/S的2L-25型溅射式钛离子泵；所述复合真空计为ZDF-42C型。 

如上所述的一种真空实验平台，其中：所述接口系统包括KF25标准接口、KF16标准接口、KF25焊接圆盘接口、KF16焊接法兰接口。 

本实用新型的具有以下显著特点： 

本实用新型在准确定位焊接器件的漏点、质谱计制造真空系统辅助抽空、真空系统辅助运行中效果明显，同时，在质谱仪真空实验，能为离子源等试验提供真空环境；具备抽速快、启动迅速、使用方便、多功能等特点。 

附图说明

图1为本实用新型提供的一种真空实验平台结构示意图； 

图2为挡板阀门安装结构图； 

图3为电源控制系统示意图。 

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例进一步介绍本实用新型提供的一种真空实验平台。 

如图1所示，一种真空实验平台，包括真空系统、为真空系统各部件提供电源的电源控制系统、与被检工件进行匹配连接的接口系统，其中真空系统为被检工件提供真空环境和真空指示；电源控制系统控制整机、机械泵、 分子泵、离子泵、复合真空计等部件的电源。接口系统为待抽系统、工件提供形态各异的接口和转换头。 

(1)真空系统 

真空系统包括一台分子泵(例如FD-110A型涡轮分子泵)，一台机械泵(例如RVP-2型前级机械泵)，一台离子泵(例如抽速为25L/S的2L-25型溅射式钛离子泵)，前级管路，一台分子泵电源，一台离子泵电源，一台复合真空计(例如ZDF-42C型)，多组挡板阀门，(例如六组CD-J16F型)。复合真空计安装在分子泵电源和离子泵电源的下面，接电阻规和冷规，分别用来测量系统的低真空度和高真空度。如图2所示，多组挡板阀门(第一挡板阀门F1、第二挡板阀门F2、第三挡板阀门F3、第四挡板阀门F4、第五挡板阀门F5、第六挡板阀门F6)安装仪器左侧前面板，通过真空波纹管连接测量接口和各类真空泵，检测时按真空要求，打开相应阀门。