[发明专利]电容式开关、信号收发装置及制造方法

权利要求书

1.一种电容式开关，其特征在于，包括：第一导电悬臂、第二导电悬臂、衬底以及设置在所述衬底上的共面波导，所述共面波导包括用于传输电信号的第一导体和设置在所述第一导体两侧的作为地线的第二导体和第三导体，所述第一导体上设有绝缘介质层，所述绝缘介质层上设有导电层；所述第一导电悬臂通过所述第一导电悬臂的第一固定端与所述第二导体连接，所述第二导电悬臂通过所述第二导电悬臂的第二固定端与所述第三导体连接，当所述电容式开关未通直流信号时，所述第一导电悬臂的第一悬空端与所述第二导电悬臂的第二悬空端悬空在所述导电层的上方，当所述电容式开关通直流信号时，所述第一导电悬臂的第一悬空端与所述导电层接触，所述第二导电悬臂的第二悬空端与所述导电层接触。

2.根据权利要求1所述的电容式开关，其特征在于，所述第一固定端与所述第一悬空端垂直连接，形成直角弯折结构的第一导电悬臂，所述第二固定端与所述第二悬空端垂直连接，形成直角弯折结构的第二导电悬臂。

3.根据权利要求1所述的电容式开关，其特征在于，所述第一固定端通过第一支撑部与所述第一悬空端连接，形成Z型弯折结构的第一导电悬臂，其中，所述第一固定端与所述第一悬空端平行；所述第二固定端通过第二支撑部与所述第二悬空端连接，形成Z型弯折结构的第二导电悬臂，其中，所述第二固定端与所述第二悬空端平行。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的电容式开关，其特征在于，所述第一导电悬臂的第一悬空端面向所述导电层的表面设有至少一个触点；和/或，

所述第二导电悬臂的第二悬空端面向所述导电层的表面设有至少一个触点。

5.一种信号收发装置，其特征在于，包括：信号源处理电路、微波处理电路、控制集成电路和电容式开关；

所述电容式开关，包括：第一导电悬臂、第二导电悬臂、衬底以及设置在所述衬底上的共面波导，所述共面波导包括用于传输电信号的第一导体和设置在所述第一导体两侧的作为地线的第二导体和第三导体，所述第一导体上设有绝缘介质层，所述绝缘介质层上设有导电层；所述第一导电悬臂通过所述第一导电悬臂的第一固定端与所述第二导体连接，所述第二导电悬臂通过所述第二导电悬臂的第二固定端与所述第三导体连接，其中，所述信号源处理电路与设置在所述电容式开关的第一导体的输入端连接，所述微波处理电路与设置在所述电容式开关的第一导体的输出端连接，所述控制集成电路与设置在所述电容式开关的第一导体的控制端相连接，当所述电容式开关的第一导体的控制端未通直流信号时，所述第一导电悬臂的第一悬空端与所述第二导电悬臂的第二悬空端悬空在所述导电层的上方，当所述电容式开关的第一导体的控制端通直流信号时，所述第一导电悬臂的第一悬空端与所述导电层接触，所述第二导电悬臂的第二悬空端与所述导电层接触。

6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述第一固定端与所述第一悬空端垂直连接，形成直角弯折结构的第一导电悬臂，所述第二固定端与所述第二悬空端垂直连接，形成直角弯折结构的第二导电悬臂。

7.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述第一固定端通过第一支撑部与所述第一悬空端连接，形成Z型弯折结构的第一导电悬臂，其中，所述第一固定端与所述第一悬空端平行；所述第二固定端通过第二支撑部与所述第二悬空端连接，形成Z型弯折结构的第二导电悬臂，其中，所述第二固定端与所述第二悬空端平行。

8.根据权利要求5～7中任一项所述的装置，其特征在于，所述第一导电悬臂的第一悬空端面向所述导电层的表面设有至少一个触点；和/或，

所述第二导电悬臂的第二悬空端面向所述导电层的表面设有至少一个触点。