[发明专利]电容式开关、信号收发装置及制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及通信技术，尤其涉及一种电容式开关、信号收发装置及制造方法。

背景技术

随着通信技术的不断发展，通信终端支持的频段越来越多，这里的通信终端可以是手机，数据卡以及其他通信终端。通信终端工作在不同的网络或不同的频段下，需要进行频段选择切换。

现有通信终端工作时主要由一些芯片控制，例如收发芯片等，这些芯片上的一些管脚可以指示该通信终端的工作频段，即每个管脚代表通信终端不同的工作频段，即通过在芯片的集成电路中为终端工作的每个频段对应的管脚设置一个电容式开关，并通过控制集成电路输入的直流信号作为逻辑电平，从而控制电容式开关的通断状态，从而实现通信终端的频段选择切换。传统的电容式开关采用微机电系统MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems）技术制成，通过控制集成电路输入的直流信号作为控制电容式开关的通断来控制信号的流通与截止，即电容式开关通电时，控制多个频段的管脚上都有输入信号，且每个频段对应的管脚都连接有电容式开关，当终端工作在某一个频段时，控制集成电路输入经过高压驱动的直流信号给与指示其他频段的管脚相连的电容式开关的控制端，该直流信号控制该些电容式开关断开，则输入端输入的信号就被截止，从而通过这一过程进行频段的选择切换。

但是，传统的电容式开关在进行频段选择时，往往由于双端固支梁的横梁整体性造成金属膜桥产生的应力无法释放，使得横梁凸起或者凹陷，进而导致横梁与导电层接触不良，在信号流通的过程中，时常出现因接触不良导致的信号泄露，从而使得通信终端信号传输质量不高的问题。

发明内容

本发明实施例提供一种电容式开关、信号收发装置及制造方法，解决了传统式电容开关因金属膜桥应力无法释放所导致的通信终端信号传输质量不高的问题。

本发明实施例第一方面提供一种电容式开关，包括：第一导电悬臂、第二导电悬臂、衬底以及设置在所述衬底上的共面波导，所述共面波导包括用于传输电信号的第一导体和设置在所述第一导体两侧的作为地线的第二导体和第三导体，所述第一导体上设有绝缘介质层，所述绝缘介质层上设有导电层；所述第一导电悬臂通过所述第一导电悬臂的第一固定端与所述第二导体连接，所述第二导电悬臂通过所述第二导电悬臂的第二固定端与所述第三导体连接，当所述电容式开关未通直流信号时，所述第一导电悬臂的第一悬空端与所述第二导电悬臂的第二悬空端悬空在所述导电层的上方，当所述电容式开关通直流信号时，所述第一导电悬臂的第一悬空端与所述导电层接触，所述第二导电悬臂的第二悬空端与所述导电层接触。

结合第一方面，在第一方面的第一种可能的实施方式中，所述第一固定端与所述第一悬空端垂直连接，形成直角弯折结构的第一导电悬臂，所述第二固定端与所述第二悬空端垂直连接，形成直角弯折结构的第二导电悬臂。

结合第一方面，在第一方面的第二种可能的实施方式中，所述第一固定端通过第一支撑部与所述第一悬空端连接，形成Z型弯折结构的第一导电悬臂，其中，所述第一固定端与所述第一悬空端平行；所述第二固定端通过第二支撑部与所述第二悬空端连接，形成Z型弯折结构的第二导电悬臂，其中，所述第二固定端与所述第二悬空端平行。

结合第一方面至第一方面的第二种可能的实施方式中任一项，在第一方面的第三种可能的实施方式中，所述第一导电悬臂的第一悬空端面向所述导电层的表面设有至少一个触点；和/或，

所述第二导电悬臂的第二悬空端面向所述导电层的表面设有至少一个触点。

本发明实施例第二方面提供一种信号收发装置，包括：信号源处理电路、微波处理电路、控制集成电路和电容式开关；