[发明专利]工作台装置及输送装置

权利要求书

1.一种工作台装置，其中，

该工作台装置包括：

第1基台，其具有与规定面平行的第1基准面；

第2基台，其具有与上述规定面平行的第2基准面，并能够在上述第1基准面上沿与上述规定面内的第1轴线平行的方向移动；

第1轴承构件，其设于上述第2基台，具有与上述第1基准面相对的第1气体供给口，并利用从上述第1气体供给口供给的气体在该第1轴承构件与上述第1基准面之间形成气体轴承；

第2轴承构件，其在同上述规定面内的与上述第1轴线正交的第2轴线平行的方向上远离上述第1轴承构件地设于上述第2基台，具有与上述第1基准面相对的第2气体供给口，并利用从上述第2气体供给口供给的气体在该第2轴承构件与上述第1基准面之间形成气体轴承；以及

工作台，其能够在上述第2基准面上沿与上述第2轴线平行的方向移动，

在与上述第2轴线平行的方向上，上述第1轴承构件与上述第2轴承构件之间的距离比上述工作台的移动范围的尺寸长。

2.根据权利要求1所述的工作台装置，其中，

在与上述第2轴线平行的方向上，以上述工作台的重心在上述第1轴承构件与上述第2轴承构件之间移动的方式确定上述工作台的移动范围。

3.根据权利要求1或2所述的工作台装置，其中，

该工作台装置包括第1引导构件，该第1引导构件设于上述第1基台，并用于沿与上述第1轴线平行的方向引导上述第2基台。

4.根据权利要求3所述的工作台装置，其中，

该工作台装置包括第3轴承构件，该第3轴承构件设于上述第2基台，具有与上述第1引导构件的朝向与上述第2轴线平行的第1方向的第1侧面相对的第3气体供给口，并利用从上述第3气体供给口供给的气体在该第3轴承构件与上述第1侧面之间形成气体轴承，

上述第1轴承构件具有配置为与上述第1引导构件的朝向上述第1方向的相反方向的第2侧面相对的第4气体供给口，并利用从上述第4气体供给口供给的气体在该第1轴承构件与上述第2侧面之间形成气体轴承。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的工作台装置，其中，

该工作台装置包括第2引导构件，该第2引导构件设于上述第2基台，并用于沿与上述第2轴线平行的方向引导上述工作台。

6.根据权利要求5所述的工作台装置，其中，

该工作台装置包括：

第4轴承构件，其设于上述工作台，具有与上述第2基准面相对的第5气体供给口和与上述第2引导构件的朝向与上述第1轴线平行的第2方向的第3侧面相对的第6气体供给口，并利用从上述第5气体供给口供给的气体在该第4轴承构件与上述第2基准面之间形成气体轴承，利用从上述第6气体供给口供给的气体在该第4轴承构件与上述第3侧面之间形成气体轴承；以及

第5轴承构件，其设于上述工作台，具有与上述第2引导构件的朝向上述第2方向的相反方向的第4侧面相对的第7气体供给口，并利用从上述第7供给口供给的气体在该第5轴承构件与上述第3侧面之间形成气体轴承。

7.根据权利要求6所述的工作台装置，其中，

该工作台装置包括第6轴承构件，该第6轴承构件在与上述第1轴线平行的方向上远离上述第4轴承构件地设于上述工作台，具有与上述第2基准面相对的第8气体供给口，并利用从上述第8气体供给口供给的气体在该第6轴承构件与上述第2基准面之间形成气体轴承。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的工作台装置，其中，

该工作台装置包括吸引力产生装置，该吸引力产生装置配置在上述第1基台与上述第2基台之间，用于产生将上述第2基台向上述第1基台拉近的力。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的工作台装置，其中，

上述吸引力产生装置包括：第1构件，其连接于上述第1基台；以及第2构件，其连接于上述第2基台，并能够在该第2构件与上述第1构件之间产生上述拉近的力，

上述第2构件包括：第1部分，其包括与上述第1构件相对的第1下表面；以及第2部分，其配置在上述第1部分的上方，包括至少一部分比上述第1部分向外侧突出的第2下表面，

上述第2部分具有连结上述第2下表面与上述第2构件的上表面的孔，

在上述孔内配置有用于固定上述第2构件与上述第2基台之间的固定构件。