[发明专利]工作台装置及输送装置

说明书

技术领域

本发明涉及工作台装置及输送装置。

背景技术

在输送装置中，使用了例如如专利文献1和专利文献2所公开的、具有能够移动的工作台的工作台装置。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特许第3832084号

专利文献2：日本特开2000－136824号

发明内容

发明要解决的问题

在工作台装置中，若工作台的定位精度降低，工作台未配置在期望的位置，则具有该工作台装置的输送装置的性能有可能降低。例如，虽然设为了要使工作台在水平面内笔直地移动，但是在该工作台纵摇的情况下，或者，虽然设为了要使工作台的上表面与水平面平行，但是在工作台的上表面相对于水平面倾斜的情况下，工作台的定位精度有可能降低。其结果，载置于该工作台的物体有可能未配置在期望的位置。

本发明的目的在于提供能够抑制定位精度降低的工作台装置及输送装置。

用于解决问题的方案

用于达到上述目的的本发明的工作台装置包括：第1基台，其具有与规定面平行的第1基准面；第2基台，其具有与上述规定面平行的第2基准面，并能够在上述第1基准面上沿与上述规定面内的第1轴线平行的方向移动；第1轴承构件，其设于上述第2基台，具有与上述第1基准面相对的第1气体供给口，并利用从上述第1气体供给口供给的气体在该第1轴承构件与上述第1基准面之间形成气体轴承；第2轴承构件，其在同上述规定面内的与上述第1轴线正交的第2轴线平行的方向上远离上述第1轴承构件地设于上述第2基台，具有与上述第1基准面相对的第2气体供给口，并利用从上述第2气体供给口供给的气体在该第2轴承构件与上述第1基准面之间形成气体轴承；以及工作台，其能够在上述第2基准面上沿与上述第2轴线平行的方向移动，在与上述第2轴线平行的方向上，上述第1轴承构件与上述第2轴承构件之间的距离比上述工作台的移动范围的尺寸长。

因而，第2基台在第1基台的第1基准面上沿与第1轴线平行的方向移动，工作台在第2基台的第2基准面上沿与第2轴线平行的方向移动，因此工作台能够沿与第1轴线平行的方向和与第2轴线平行的方向这两个方向移动。第1轴承构件和第2轴承构件分别形成用于产生相对于规定面垂直的方向的力（浮起力）的气体轴承。即，第1轴承构件和第2轴承构件分别形成所谓的垂直方向气体轴承（上下方向气体轴承）。当工作台在第2基准面上沿与第2轴线平行的方向移动时，在该工作台的移动方向（与第2轴线平行的方向）上，第1轴承构件（第1垂直方向气体轴承）与第2轴承构件（第2垂直方向气体轴承）之间的距离比工作台的移动范围（行程）的尺寸长，因此即使工作台在该移动范围内移动，工作台的载荷也被由第1轴承构件形成的气体轴承和由第2轴承构件形成的气体轴承支承。由此，工作台在工作台的移动范围内纵摇或者工作台的上表面倾斜的情况得到抑制。因此，工作台的定位精度的降低得到抑制。

在本发明的工作台装置中，在与上述第2轴线平行的方向上，以上述工作台的重心在上述第1轴承构件与上述第2轴承构件之间移动的方式确定上述工作台的移动范围。

因而，工作台的重心不自第1轴承构件（第1垂直方向气体轴承）与第2轴承构件（第2垂直方向气体轴承）之间向外侧移动，因此即使工作台在该移动范围内移动，工作台的载荷也被由第1轴承构件形成的气体轴承和由第2轴承构件形成的气体轴承支承。由此，使工作台纵摇或者工作台的上表面倾斜的情况得到抑制。

在本发明的工作台装置中，该工作台装置包括第1引导构件，该第1引导构件设于上述第1基台，并用于沿与上述第1轴线平行的方向引导上述第2基台。

因而，第2基台被第1引导构件引导，并在目标轨道上沿与第1轴线平行的方向移动。由此，支承于该第2基台的工作台也在目标轨道上沿与第1轴线平行的方向移动。

在本发明的工作台装置中，该工作台装置包括第3轴承构件，该第3轴承构件设于上述第2基台，具有与上述第1引导构件的朝向与上述第2轴线平行的第1方向的第1侧面相对的第3气体供给口，并利用从上述第3气体供给口供给的气体在该第3轴承构件与上述第1侧面之间形成气体轴承，上述第1轴承构件具有配置为与上述第1引导构件的朝向上述第1方向的相反方向的第2侧面相对的第4气体供给口，并利用从上述第4气体供给口供给的气体在该第1轴承构件与上述第2侧面之间形成气体轴承。