[发明专利]重型回转体的驱动方法及回转装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种重型回转体的驱动方法及回转装置。

背景技术

专利文献1中公开有一种通过使测定如半导体器件之类的被检体的电性特性的探针装置的测试头(盖体)绕支承轴回转而进行开闭的回转装置。该探针装置的测试头逐年大型化，近年来还不断地设计出数吨级的测试头。

测试头通过马达与减速机成为一体的齿轮马达进行驱动。通常，该种测试头构成为从0度(水平状态)起开始回转，并回转至打开大致180度的状态。

以往技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2006-98388号公报

发明内容

发明要解决的技术课题

当使这种重型测试头超过铅垂位置而回转(开闭)时，存在如下问题：在超过铅垂竖立状态的位置，驱动系统的侧隙因测试头的自重而反转，会出现巨大的测试头发出“砰”的巨大冲击声并位置偏离的现象。

在专利文献1中，针对这种问题，提出了采用侧隙较小的蜗轮减速机构的技术，另外，实际上难以完全消除侧隙。

本发明是为了解决这种以往的问题而完成的，其课题在于以低成本消除重型回转体因驱动系统的侧隙的反转而在回转中引起位置偏离的不良情况。

用于解决技术课题的手段

本发明通过设为如下结构解决上述课题，即，一种使重型回转体超过铅垂位置而回转的回转装置的驱动方法，其中，所述回转装置具备：第1马达及第1驱动系统，该第1驱动系统通过该第1马达进行驱动；第2马达及第2驱动系统，该第2驱动系统通过该第2马达进行驱动；及动力传递部件，所述第1驱动系统和所述第2驱动系统的动力同时传递到该动力传递部件，所述驱动方法包括：第1驱动工序，利用所述第1马达及第2马达，将该回转体的回转轴从该回转装置的回转起点驱动至特定回转角度；及第2驱动工序，在成为所述特定回转角度以后，将所述第1、第2马达的至少一个改变为另一驱动方式来驱动所述回转轴。

在本发明的上述结构中，“铅垂位置”是指地球的中心、回转体的回转轴的轴心及回转体的重心排列在一直线上的位置，而不是指相对于回转体的回转起点面和终点面或设置回转装置的底面而垂直的方向。还可以换句话说，是连结回转体的重心和回转体的回转轴的轴心的直线与地面(地球表面)垂直的位置。

在本发明中，当使重型回转体回转时，分别准备通过第1马达、第2马达单独进行驱动的第1驱动系统和第2驱动系统，将该第1驱动系统和第2驱动系统的动力同时传递至(共用的)动力传递部件。而且，在回转体的回转起点至特定回转角度的范围内，将该第1马达及第2马达同时驱动而驱动回转体(第1驱动工序)。在成为特定回转角度以后，以另一驱动方式来驱动第1马达、第2马达的至少一个(第2驱动工序)。

其结果，在回转体的驱动开始时，即需要较大的驱动转矩时，第1马达和第2马达能够共同驱动回转体。并且，在发生侧隙反转的附近，由于回转体的驱动不需要较大的驱动转矩，因此通过改变第1马达和第2马达的驱动方式，能够在第1驱动系统和第2驱动系统中形成回转体的驱动无侧隙的状态，从而能够防止因侧隙的反转而发生位置偏离。

另外，当本发明着眼于“重型回转体的回转装置”这种观点时，还能够理解为“一种重型回转体的回转装置，其为使重型回转体超过铅垂位置而回转的回转装置，其特征在于，具备：第1马达及第1驱动系统，该第1驱动系统通过该第1马达进行驱动；第2马达及第2驱动系统，该第2驱动系统通过该第2马达进行驱动；及动力传递部件，所述第1驱动系统和所述第2驱动系统的动力同时传递到该动力传递部件，并且具备控制机构，该控制机构对第1驱动工序和第2驱动工序进行切换，在该第1驱动工序中，利用所述第1马达及第2马达，将该回转体的回转轴从所述回转体的回转起点驱动至特定回转角度，在该第2驱动工序中，在成为所述特定回转角度以后，将所述第1马达、第2马达的至少一个改变为另一驱动方式来驱动所述回转轴。”。

并且，本发明还能够理解为“一种重型回转体的回转装置，其为使重型回转体超过铅垂位置而回转的回转装置，其特征在于，具备：第1马达及第1驱动系统，该第1驱动系统通过该第1马达进行驱动；第2马达及第2驱动系统，该第2驱动系统通过该第2马达进行驱动；及动力传递部件，所述第1驱动系统和所述第2驱动系统的动力同时传递到该动力传递部件，所述第1驱动系统的减速比与所述第2驱动系统的减速比不同。”。