[发明专利]分段式天线组件

权利要求书

1.一种装置，包括：

处理室体，所述处理室体具有上表面及下表面；

天线，所述天线包括：

第一段；

第二段，所述第二段电耦接于所述第一段，并延伸通过所述处理室体的内部空间；以及

第三段，所述第三段电耦接于所述第二段；以及

电介质层，所述电介质层设置于所述第二段的外径的周围。

2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述第一段延伸通过所述处理室体的所述上表面，且所述第三段延伸通过所述处理室体的所述下表面。

3.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述天线包括中空导电管，所述中空导电管适用于传输冷却流体。

4.如权利要求3所述的装置，其特征在于，所述中空导电管包括中空铜管。

5.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述电介质层设置于所述第二段的所述外径的周围，且多个间隔物耦接于所述天线的外径以及所述电介质层的内径之间。

6.如权利要求5所述的装置，其特征在于，所述些间隔物用以在所述天线的外径与所述电介质层的内径之间形成流体通道，所述流体通道沿着所述电介质层的长度作延伸。

7.如权利要求1所述的装置，其特征在于，更包括：

第一耦接体，所述第一耦接体将所述第二段连接至所述第一段；以及

第二耦接体，所述第二耦接体将所述第二段连接至所述第三段。

8.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述第一段及所述第三段的长度至少为0.5米，所述第二段的长度至少为2米。

9.一种天线组件，包括：

第一中空管，所述第一中空管是导电的；

电介质层，所述电介质层设置于所述第一中空管的周围；

第一耦接体，所述第一耦接体位于所述第一中空管的第一端，所述第一耦接体用以形成与第二中空管的电连接及流体连接；以及

第二耦接体，所述第二耦接体位于所述第一中空管的第二端，所述第二耦接体用以形成与第三中空管的电连接及流体连接。

10.如权利要求9所述的天线组件，其特征在于，所述第一耦接体包括第一螺纹面，所述第一螺纹面用以将所述第一耦接体耦接至所述第二中空管，而所述第二耦接体包括第二螺纹面，所述第二螺纹面用以将所述第二耦接体耦接至所述第三中空管。

11.如权利要求9所述的天线组件，其特征在于，所述第一中空管包括中空铜管。

12.如权利要求9所述的天线组件，其特征在于，更包括多个间隔物，所述间隔物设置于所述第一中空管与所述电介质层之间。

13.如权利要求12所述的天线组件，其特征在于，所述间隔物用以在所述第一中空管的外径与所述电介质层的内径之间形成流体通道，且所述流体通道沿着所述电介质层的长度作延伸。

14.如权利要求9所述的天线组件，其特征在于，所述第一中空管与所述电介质层用以在处理室中产生等离子体。

15.一种装置，包括：

处理室体，所述处理室体具有上表面及下表面；

天线，所述天线包括：

第一段；

第二段，所述第二段电耦接于所述第一段，并延伸通过所述处理室体的内部空间；以及

第三段，所述第三段电耦接于所述第二段；以及

电介质层，所述电介质层设置于所述第二段的外径的周围，其中所述第一段延伸通过所述处理室体的所述上表面，所述第三段延伸通过所述处理室体的所述下表面，且所述天线包括中空导电管，所述中空导电管适用于传输冷却流体。