[发明专利]飞行时间二次离子质谱分析装置用试样固定部件

说明书

技术领域

本发明涉及飞行时间二次离子质谱分析装置用试样固定部件。详细而言，涉及用于在飞行时间二次离子质谱分析装置(TOF－SIMS：Time－of－Flight Secondary Ion Mass Spectrometry)中固定测定对象试样的部件。

背景技术

飞行时间二次离子质谱分析装置(TOF－SIMS)是用于调查在固体试样的表面存在何种成分(原子、分子)的装置，能够检测ppm级的极微量成分，能够适用于有机物、无机物。另外，根据飞行时间二次离子质谱分析装置(TOF－SIMS)，还能够调查存在于固体试样的最表面的成分的分布(例如，参照专利文献1)。

飞行时间二次离子质谱分析装置中，通过在高真空中使高速的离子束(一次离子)轰击固体试样的表面，通过溅射现象将表面的构成成分弹飞。此时产生的带有正或负电荷的离子(二次离子)通过电场在一个方向上飞散，在离开一定距离的位置检测。在溅射时，根据固体试样表面的组成，产生具有各种质量的二次离子，越轻的离子越以快的速度飞散，越重的离子越以慢的速度飞散，因此，如果测定二次离子从产生到被检测到的时间(飞行时间)，就能够计算产生的二次离子的质量。这是飞行时间二次离子质谱分析装置的原理。

在飞行时间二次离子质谱分析装置中，使成为测定对象的固体试样固定于粘合剂或粘接剂等固定部件而进行测定。但是，在使用现有的粘合剂或粘接剂等固定部件的情况下，来自固定部件的有机成分附着于固体试样，而产生固体试样的污染。这种污染在固体试样为粉体等情况下特别显著。飞行时间二次离子质谱分析装置中，由于检测固体试样表面的ppm级的极微量成分，因此，存在该固体试样表面的极少的污染会妨碍二次离子的产生而不能进行准确检测的问题。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2008－175654号公报

发明内容

发明所要解决的课题

本发明的课题在于提供一种飞行时间二次离子质谱分析装置用的试样固定部件，其能够防止固体试样的污染，能够稳定地固定固体试样，并且在飞行时间二次离子质谱分析装置中能够实现二次离子的准确检测。

用于解决课题的方法

本发明的飞行时间二次离子质谱分析装置用试样固定部件包含：具备多个长度200μm以上的纤维状柱状物的纤维状柱状结构体。

在优选的实施方式中，本发明的飞行时间二次离子质谱分析装置用试样固定部件在室温的相对于玻璃面的剪切粘接力为10N/cm²以上。

在优选的实施方式中，上述纤维状柱状结构体为具备多个碳纳米管的碳纳米管集合体。

在优选的实施方式中，上述碳纳米管具有多个层，该碳纳米管的层数分布的分布宽度为10层以上，该层数分布的最频值的相对频度为25％以下。

在优选的实施方式中，上述碳纳米管具有多个层，该碳纳米管的层数分布的最频值存在于层数10层以下，该最频值的相对频度为30％以上。

在优选的实施方式中，本发明的飞行时间二次离子质谱分析装置用试样固定部件包含基材。

发明的效果

根据本发明，能够提供能够防止固体试样的污染、能够稳定地固定固体试样并且在飞行时间二次离子质谱分析装置中能够实现二次离子的准确检测的飞行时间二次离子质谱分析装置用的试样固定部件。

附图说明

图1是本发明优选的实施方式中的飞行时间二次离子质谱分析装置用试样固定部件的一例的概略剖面图；

图2是本发明优选的实施方式中的飞行时间二次离子质谱分析装置用试样固定部件包含碳纳米管集合体时的该碳纳米管集合体的制造装置的概略剖面图。

具体实施方式

《飞行时间二次离子质谱分析装置用试样固定部件》

本发明的飞行时间二次离子质谱分析装置用试样固定部件包含具备多个长度200μm以上的纤维状柱状物的纤维状柱状结构体。本发明的飞行时间二次离子质谱分析装置用试样固定部件通过包含具备多个长度200μm以上的纤维状柱状物的纤维状柱状结构体，能够防止固体试样的污染，能够稳定地固定固体试样，并且在飞行时间二次离子质谱分析装置中能够实现二次离子的准确检测。本发明的飞行时间二次离子质谱分析装置用试样固定部件可以是仅由上述纤维状柱状结构体构成的部件，也可以是由上述纤维状柱状结构体和可以适用于固定飞行时间二次离子质谱分析装置用试样的任意恰当的材料构成的部件。