[发明专利]电子设备用玻璃盖片的制造方法和制造装置有效
申请号: | 201380008101.7 | 申请日: | 2013-02-08 |
公开(公告)号: | CN104105674A | 公开(公告)日: | 2014-10-15 |
发明(设计)人: | 桥本和明 | 申请(专利权)人: | HOYA株式会社 |
主分类号: | C03B33/02 | 分类号: | C03B33/02;C03C15/00;G02F1/1333 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 丁香兰;庞东成 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电子 备用 玻璃 制造 方法 装置 | ||
1.一种电子设备用玻璃盖片的制造方法,其特征在于,该制造方法包括:
支撑步骤,对于至少在一侧主表面上设置有抗蚀刻层的玻璃坯板,所述抗蚀刻层是形成有用于形成电子设备用玻璃盖片形状的加工图案的抗蚀刻层,在使将所述加工图案向玻璃坯板的板厚方向投影在另一侧主表面上的区域与支撑体为非接触的状态下,利用所述支撑体支撑另一侧主表面上的由所述加工图案所围成的分区的内侧;和
分离步骤,对所述玻璃坯板的所述一侧主表面进行蚀刻处理,由此沿着所述加工图案溶解所述玻璃坯板,从所述玻璃坯板分离出电子设备用玻璃盖片形状的玻璃基板。
2.如权利要求1所述的电子设备用玻璃盖片的制造方法,其特征在于,
在所述分离步骤中,使蚀刻液朝向所述玻璃坯板向上方的主表面喷淋蚀刻液,从而进行蚀刻处理,
在所述支撑步骤中,利用作为所述支撑体的板状支撑体从下方支撑所述玻璃坯板,该板状支撑体具有向上方突出的用于在所述玻璃坯板的下方的主表面侧形成蚀刻液流动用空间的两个以上突出部。
3.如权利要求1或权利要求2所述的电子设备用玻璃盖片的制造方法,其特征在于,所述抗蚀刻层中通过所述加工图案形成有可形成两个以上电子设备用玻璃盖片的两个以上分区,在所述支撑步骤中分别支撑所述两个以上分区的内侧。
4.如权利要求1~3中任一项所述的电子设备用玻璃盖片的制造方法,其特征在于,在所述分离步骤之前,在所述玻璃坯板中的所述加工图案的形成区域中形成凹部。
5.如权利要求4所述的电子设备用玻璃盖片的制造方法,其特征在于,在所述玻璃坯板的两侧主表面设置有形成有加工图案的抗蚀刻层,所述凹部是通过双面蚀刻形成的。
6.如权利要求5所述的电子设备用玻璃盖片的制造方法,其特征在于,在所述支撑步骤中,使具有向上方突出的突出部的板状支撑体在支撑位置待机,将完成所述双面蚀刻后的玻璃坯板传送并载放在所述支撑体之上而进行支撑。
7.如权利要求1~6中任一项所述的电子设备用玻璃盖片的制造方法,其特征在于,在所述分离步骤之前,对所述玻璃坯板实施了化学强化、对应于所述分区的印刷和在所述分区形成触控面板用的透明电极中的至少一种处理。
8.一种电子设备用玻璃盖片的制造装置,其特征在于,该制造装置包括:
支撑体,对于至少在一侧主表面上设置有抗蚀刻层的玻璃坯板,所述抗蚀刻层是形成有用于形成电子设备用玻璃盖片形状的加工图案的抗蚀刻层,该支撑体在与将所述加工图案向玻璃坯板的板厚方向投影在另一侧主表面上的区域为非接触的状态下,支撑另一侧主表面上的由所述加工图案所围成的分区的内侧;和
单面蚀刻处理部,该单面蚀刻处理部对所述玻璃坯板的所述一侧主表面进行蚀刻处理,由此沿着所述加工图案溶解所述玻璃坯板,从所述玻璃坯板分离出电子设备用玻璃盖片的形状的玻璃基板。
9.如权利要求8所述的电子设备用玻璃盖片的制造装置,其特征在于,所述支撑体具有向上方突出的用于在所述玻璃坯板下方的主表面侧形成蚀刻液流动用空间的两个以上突出部,通过所述两个以上突出部支撑所述玻璃坯板。
10.如权利要求9所述的电子设备用玻璃盖片的制造装置,其特征在于,所述支撑体对于由所述加工图案得到的一个或两个以上的分区的各个分区而言均具有三个以上突出部。
11.如权利要求8~10中任一项所述的电子设备用玻璃盖片的制造装置,其特征在于,所述单面蚀刻处理部具备在玻璃基板的分离完成后将所述支撑体传送至可回收位置的传送部。
12.如权利要求8~11中任一项所述的电子设备用玻璃盖片的制造装置,其特征在于,该制造装置包括双面蚀刻处理部,其对于在两侧主表面设置有抗蚀刻层的玻璃坯板,所述抗蚀刻层是形成有用于形成电子设备用玻璃盖片形状的加工图案的抗蚀刻层,在所述单面蚀刻处理部之前,对所述玻璃坯板的两侧主表面实施蚀刻处理而在所述加工图案的形成区域中形成凹部。
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