[发明专利]电子设备用玻璃盖片的制造方法和制造装置

说明书

技术领域

本发明涉及电子设备用玻璃盖片的制造方法和制造装置，所述电子设备用玻璃盖片包括作为便携设备(便携式电子设备)的显示画面的覆盖部件而使用的便携设备用玻璃盖片和作为触摸传感器的覆盖部件而使用的触摸传感器用玻璃盖片。

背景技术

在包括智能电话在内的移动电话、平板电脑(Personal Computer)或PDA(Personal Digital Assistant)等便携设备中，为了保护液晶等显示装置，在显示装置的外侧配置有玻璃盖片。另外，在触摸传感器中，也配置有用于保护传感器基板的玻璃盖片。

通常，对于玻璃盖片而言，从大单板的玻璃坯板分离出任选形状的玻璃基板(外形加工)，对该分离出的玻璃基板进一步进行印刷等加工，由此制造玻璃盖片。作为从玻璃坯板分离出玻璃基板的方法，不仅有机械加工，还已知使用蚀刻处理的方法。

蚀刻处理包括干蚀刻处理和湿蚀刻处理，湿蚀刻处理包括喷淋方式和浸渍方式。通过湿蚀刻处理进行玻璃基板的外形加工时，喷淋方式相比于浸渍方式能够更容易地进行析出物控制和蚀刻速率控制，因此适合于要求尺寸精度的电子设备用玻璃盖片的外形加工。

专利文献1中，对在主表面形成有抗蚀剂图案的玻璃坯板进行蚀刻处理，从玻璃坯板分离出所期望的形状的玻璃基板。由此通过蚀刻处理形成外形，端面形成镜面而具有非常高的平滑性，不会产生在机械加工中必定产生的微裂纹。因此，可以得到便携终端用玻璃盖片所需求的高强度。另外，还具有如下优点：即使是在机械加工中困难的复杂形状，如果是蚀刻处理的话，则能够容易地进行加工。

专利文献2涉及通过蚀刻电子装置用玻璃基板(电子设备用玻璃盖片)进行外形加工(分离)的制造方法。专利文献2中记载了在底面呈网状的收纳容器中以被抗蚀剂层覆盖的面作为下表面容纳玻璃坯板，在将玻璃坯板保持水平的状态下对上下两表面实施喷淋蚀刻(第0032段)。需要说明的是，从下表面进行的蚀刻为外形加工，上表面的蚀刻为减薄(Slimming)。通过如此容纳在收纳容器中，能够抑制小片化后的玻璃基板的散乱(第0033段)。

专利文献3涉及在平板显示器用的玻璃基板上形成凹部(单元用盖)的制造方法。专利文献3中记载了如下构成：在下表面设置有开口的玻璃板容纳单元(类似于无底箱的形状的框体)中容纳玻璃板，向玻璃板的下表面喷射蚀刻液进行(喷淋)蚀刻(单面蚀刻)。需要说明的是，专利文献3中披露的技术用于在玻璃基板形成凹部，是不以切割玻璃为前提的技术。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2009-167086号公报

专利文献2：日本特开2010-254551号公报

专利文献3：日本特开2005-298314号公报

发明内容

发明要解决的问题

然而在现有文献2的构成中，容纳在底面为网状的收纳容器中对下表面进行蚀刻，因此由于网状的玻璃支撑部分，蚀刻液的喷射受到阻碍。并且在端部边缘处，蚀刻液由于表面张力而滞留在网状的玻璃支撑部分与玻璃坯板之间，因此会受到比其它部位更多的蚀刻。因此，由蚀刻处理得到的溶解量在局部不均匀，在玻璃基板的经蚀刻处理的面上形成了凹凸。其结果存在如下问题：玻璃基板的尺寸精度下降，并且施加外力时在凹凸部分产生应力集中，机械强度下降。

并且在现有文献2的构成中，利用网状的底面进行支撑，但是网状部件的刚性不足，因此发生弯曲。存在如下问题：网状的底面弯曲时中央部下移，因而与此同时玻璃基板移动而与玻璃坯板的其余部分发生碰撞，从而产生缺损或伤痕而导致不合格，良品率下降。另外蚀刻液是主要成分为强酸性的氢氟酸，因此网状底面的材质要为具有耐氢氟酸性的树脂制材料，因而难以通过材质得到刚性。对此，如果使网状底面像蜂窝那样具有厚度，则即使是树脂材料也能够得到刚性，但是会进而导致蚀刻液的喷射变得不均匀，因而是不适用的。

因此，本发明的目的在于提供电子设备用玻璃盖片的制造方法和制造装置，能够提高从玻璃坯板分离出的玻璃基板的回收效率，并且提高尺寸精度、强度等品质，改善良品率。

用于解决问题的手段