[发明专利]玻璃微粒沉积体的制造方法以及玻璃母材的制造方法

权利要求书

1.一种玻璃微粒沉积体的制造方法，具有如下的沉积工序：在反应容器中设置起始棒以及玻璃微粒生成用燃烧器，向所述燃烧器中导入玻璃原料，在所述燃烧器所形成的火焰内使玻璃原料发生火焰分解反应以生成玻璃微粒，并且使生成的玻璃微粒沉积在所述起始棒上从而制作玻璃微粒沉积体；

该玻璃微粒沉积体的制造方法的特征在于，将从所述燃烧器喷出的玻璃原料相对于所述燃烧器的中心轴的扩展角度设为20～70度。

2.根据权利要求1所述的玻璃微粒沉积体的制造方法，其特征在于，在所述沉积工序中，将所述扩展角度设为20～50度。

3.根据权利要求1所述的玻璃微粒沉积体的制造方法，其特征在于，在所述沉积工序中，将所述扩展角度设为20～40度。

4.根据权利要求1至3中任意一项所述的玻璃微粒沉积体的制造方法，其特征在于，在所述沉积工序中，将所述燃烧器中从喷出所述玻璃原料的原料喷口的前端开口部至喷出氧气的燃气喷口的前端开口部的最短距离设为10～100mm。

5.根据权利要求1至3中任意一项所述的玻璃微粒沉积体的制造方法，其特征在于，在所述沉积工序中，将所述燃烧器中从喷出所述玻璃原料的原料喷口的前端开口部至喷出氧气的燃气喷口的前端开口部的最短距离设为20～100mm。

6.根据权利要求1至3中任意一项所述的玻璃微粒沉积体的制造方法，其特征在于，在所述沉积工序中，将所述燃烧器中从喷出所述玻璃原料的原料喷口的前端开口部至喷出氧气的燃气喷口的前端开口部的最短距离设为30～100mm。

7.根据权利要求1至3中任意一项所述的玻璃微粒沉积体的制造方法，其特征在于，在所述沉积工序中，将供给至所述燃烧器的所述玻璃原料设为硅氧烷。

8.根据权利要求7所述的玻璃微粒沉积体的制造方法，其特征在于，在所述沉积工序中，将供给至所述燃烧器的所述玻璃原料设为八甲基环四硅氧烷(OMCTS)。

9.根据权利要求1至3中任意一项所述的玻璃微粒沉积体的制造方法，其特征在于，在所述沉积工序中，将从所述燃烧器喷出的所述玻璃原料设为液体喷雾状。

10.根据权利要求1至3中任意一项所述的玻璃微粒沉积体的制造方法，其特征在于，在所述沉积工序中，将从所述燃烧器喷出的所述玻璃原料设为气态。

11.一种玻璃母材的制造方法，其特征在于，由权利要求1至3中任意一项所述的玻璃微粒沉积体的制造方法制造玻璃微粒沉积体，并且包括对所制造的所述玻璃微粒沉积体进行加热从而制造透明的玻璃母材的透明化工序。

12.根据权利要求11所述的玻璃母材的制造方法，其特征在于，通过OVD法、VAD法、MMD法中的任意一者来进行所述沉积工序中的玻璃微粒沉积体的沉积。