[发明专利]玻璃微粒沉积体的制造方法以及玻璃母材的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及通过OVD法(外部气相沉积法)、VAD法(气相轴向沉积法)、MMD法(多燃烧器多层沉积法)等使玻璃微粒沉积在起始棒上来制造玻璃微粒沉积体的玻璃微粒沉积体制造方法，以及对该玻璃微粒沉积体进行加热使其透明化的玻璃母材制造方法。

背景技术

作为现有的玻璃母材制造方法，已知的是包括以下工序的制造方法：通过OVD法或VAD法等制作玻璃微粒沉积体的沉积工序，以及对该玻璃微粒沉积体加热从而制作透明的玻璃母材的透明化工序。

例如，专利文献1公开了可在预制件(玻璃母材)形成时使用的精密燃烧器，其能使不含八甲基环四硅氧烷(OMCTS)等卤化物的含硅化合物氧化。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特表平11-510778号公报

发明内容

发明要解决的问题

然而，在专利文献1记载的精密燃烧器中，在精密燃烧器的火焰内使生成的玻璃微粒沉积在起始棒上从而制造玻璃微粒沉积体时，在防止玻璃微粒沉积体的外径变动或提高玻璃原料的收率方面还有改善的余地。

于是，本发明是鉴于以上问题而进行的，目的在于提供玻璃微粒沉积体的制造方法以及玻璃母材的制造方法，其中该玻璃微粒沉积体的制造方法可以防止玻璃微粒沉积体的外径变动，同时没有燃烧器堵塞等不良情况，并可提高玻璃原料的收率。

解决问题的方案

为了解决上述问题，本发明的玻璃微粒沉积体的制造方法具有如下的沉积工序：在反应容器中设置起始棒以及玻璃微粒生成用燃烧器，向所述燃烧器中导入玻璃原料，在所述燃烧器所形成的火焰内使玻璃原料反应从而生成玻璃微粒，并且使生成的玻璃微粒沉积在所述起始棒上从而制作玻璃微粒沉积体；该玻璃微粒沉积体的制造方法的特征在于，将从所述燃烧器喷出的玻璃原料与所述燃烧器的中心轴的扩展角度设为5～70度。

另外，对于本发明的玻璃微粒沉积体的制造方法，在所述沉积工序中也可以将所述扩展角度构成为10～50度。

另外，对于本发明的玻璃微粒沉积体的制造方法，在所述沉积工序中也可以将所述扩展角度构成为20～40度。

另外，对于本发明的玻璃微粒沉积体的制造方法，在所述沉积工序中，也可以将所述燃烧器中从喷出所述玻璃原料的原料喷口的前端开口部至喷出氧气的燃气喷口的前端开口部的最短距离构成为10～100mm。

另外，对于本发明的玻璃微粒沉积体的制造方法，在所述沉积工序中，也可以将所述燃烧器中从喷出所述玻璃原料的原料喷口的前端开口部至喷出氧气的燃气喷口的前端开口部的最短距离构成为20～100mm。

另外，对于本发明的玻璃微粒沉积体的制造方法，在所述沉积工序中，也可以将所述燃烧器中从喷出所述玻璃原料的原料喷口的前端开口部至喷出氧气的燃气喷口的前端开口部的最短距离构成为30～100mm。

另外，对于本发明的玻璃微粒沉积体的制造方法，在所述沉积工序中，也可以将供给至所述燃烧器的所述玻璃原料构成为硅氧烷。

另外，对于本发明的玻璃微粒沉积体的制造方法，在所述沉积工序中，也可以将供给至所述燃烧器的所述玻璃原料构成为八甲基环四硅氧烷(OMCTS)。

另外，对于本发明的玻璃微粒沉积体的制造方法，在所述沉积工序中，也可以使从所述燃烧器喷出的所述玻璃原料构成为液体喷雾状。

另外，对于本发明的玻璃微粒沉积体的制造方法，在所述沉积工序中，也可以使从所述燃烧器喷出的所述玻璃原料构成为气态。

另外，本发明的玻璃母材的制造方法的特征在于，由上述玻璃微粒沉积体的制造方法制造玻璃微粒沉积体，并且包括对所制造的玻璃微粒沉积体进行加热从而制造透明的玻璃母材的透明化工序。

另外，对于本发明的玻璃母材的制造方法，所述沉积工序中的玻璃微粒沉积体的沉积也可以构成为通过OVD法、VAD法、MMD法中的任意一者来进行。

发明效果

根据本发明的玻璃微粒沉积体的制造方法以及玻璃母材的制造方法，通过对从玻璃微粒生成用燃烧器喷出的玻璃原料的扩展角度等进行适当化，可以防止玻璃微粒沉积体的外径变动，同时没有燃烧器堵塞等不良情况，并可以提高玻璃原料的收率。

附图说明

[图1]为示出实施本发明所述的玻璃微粒沉积体制造方法的制造装置的一个形态的结构图。

[图2]为示出生成玻璃微粒的燃烧器的一个形态的主视图。

[图3]为示出图2所示燃烧器的原料喷口的截面图。