[发明专利]Fe-Co系合金溅射靶材及其制造方法

权利要求书

1.一种Fe-Co系合金溅射靶材，其中，原子比的组成式表示为(Fe_a-Co_100-a)_100-b-c-d-Ta_b-Nb_c-M_d(0＜a≤80、0≤b≤10、0≤c≤15、5≤b+c≤15、2≤d≤20、15≤b+c+d≤25，M表示选自由Mo、Cr和W组成的组中的一种以上的元素)，包含由不可避免的杂质组成的余量，并且300℃下的断裂弯曲应变ε_fB为0.4％以上。

2.根据权利要求1所述的Fe-Co系合金溅射靶材，其中，所述组成式的b满足b＝0。

3.根据权利要求1或2所述的Fe-Co系合金溅射靶材，其中，含有选自Ta和Nb中的一种以上的金属间化合物相的、0.01mm²～0.10mm²的视场中的面积分数为30面积％以下。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的Fe-Co系合金溅射靶材，其中，在含有选自Ta和Nb中的一种以上的金属间化合物相的区域内描绘内切圆时的、最大内切圆的直径为30μm以下。

5.一种Fe-Co系合金溅射靶材的制造方法，其中，对于原子比的组成式表示为(Fe_a-Co_100-a)_100-b-c-d-Ta_b-Nb_c-M_d(0＜a≤80、0≤b≤10、0≤c≤15、5≤b+c≤15、2≤d≤20、15≤b+c+d≤25，M表示选自由Mo、Cr和W组成的组中的一种以上的元素)、余量由不可避免的杂质组成的粉末组合物，以烧结温度800～1400℃、加压压力100～200MPa以及烧结时间1～10小时的条件进行加压烧结。

6.根据权利要求5所述的Fe-Co系合金溅射靶材的制造方法，其中，所述组成式的b满足b＝0。