[发明专利]感光性导电糊剂以及带导电性配线的基板的制造方法有效
申请号: | 201380015931.2 | 申请日: | 2013-03-13 |
公开(公告)号: | CN104185875B | 公开(公告)日: | 2017-07-18 |
发明(设计)人: | 桥本大树;田中明彦;大森孝修 | 申请(专利权)人: | 东丽株式会社 |
主分类号: | H01B1/22 | 分类号: | H01B1/22;G03F7/004;H01B1/00;H01B5/14;H01B13/00;H05K3/12 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人: | 蔡晓菡,孟慧岚 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 感光性 导电 以及 导电性 制造 方法 | ||
技术领域
本发明涉及感光性导电糊剂以及带导电性配线的基板的制造方法。
背景技术
近年来,用于形成在玻璃、陶瓷、复合材料等基板上进行涂布、描画、印刷而图案化的导电性配线的导电糊剂由于比较廉价且微细加工优异,因此在显示器、太阳能电池等领域中采用。其维持并提高导电性、微细加工性之类的性能,并且由于近年来环境负荷的降低、低成本化而备受关注。
在这些用途中使用的一般的导电糊剂包含无机粉末和有机粘结剂,所述无机粉末含有导电性粉末和玻璃料。通过将这样的导电糊剂在基板上涂布成特定的图案或者在涂布后进行图案加工,从而形成期望图案的导电糊剂涂膜后,在空气中以500℃以上进行煅烧来去除有机粘结剂,并使玻璃料软化,从而形成包含导电性材料和玻璃的导电性配线。
例如,等离子体显示器面板(PDP)与液晶面板相比能够进行高速显示,且容易大型化,因此正在向办公自动化设备和广告显示装置等领域渗透。另外,在高品质电视的领域等中也很活跃。
PDP通过将在前面板与背面板这两张玻璃基板之间制作出的微小间隙作为放电空间,使阳极电极和阴极电极之间产生等离子体放电,将由封入至放电空间内的气体产生的紫外线照射至于放电空间内设置的荧光体而使其发光,从而进行显示。因此,电极以如下方式形成的:在前面板和背面板分别将多根电极平行地设置成条纹状,前面板的电极与背面板的电极隔着微小间隙对向设置且相互垂直。在PDP之中,适合于利用荧光体进行彩色显示的3电极结构的面放电型PDP具备:设置于前面板的、包含相互平行地相邻的显示电极的多根电极对;以及,以垂直于各电极对的方式设置于背面板的多根地址电极。另外,在背面板处,用于防止光串扰、确保放电空间的隔壁形成于电极间的空间。进而,其放电空间内形成有荧光体。
在上述电极之中,形成于背面板的地址电极需要在宽范围内均匀地形成厚度、线宽。进而,伴随着PDP的高精细化,地址电极的微间距化正在推进。需要说明的是,在使用导电糊剂来形成电极的情况下,如上述那样地经由在空气中以500℃以上的温度进行的煅烧工序,因此需要使用即使经由煅烧工序其线形状也不会发生弯曲、膨胀等变形的材料。由于这些制约条件,作为导电性粉末,提出了应用使用了银、金之类的贵金属的感光性糊剂(例如专利文献1)。然而,专利文献1中使用的电极糊剂含有贵金属,因此存在成本高这一问题。另一方面,在将铝、铜等金属以单体的形式用作电极材料的情况下,存在如下问题:在空气中的煅烧工序中形成厚的氧化皮膜,金属粉末彼此的熔接受到抑制,电阻变高。因此,一般来说,为了形成铝、铜等的图案,需要施加覆盖层这样的复杂工序。
由此,广泛使用了如下的导电糊剂,其将即使以单体的形式使用也不会氧化且富有延展性、保存稳定性优异的贵金属的粉末用作导电性粉末。
专利文献1和2的感光性导电糊剂在煅烧炉内的给气排气量不充分的氧不足条件下、或将专利文献3所述的电极、电介体以及隔壁同时煅烧的条件下等设想了各种煅烧环境的情况下,存在如下问题:由于煅烧过程中残留的有机粘结剂成分,烧结开始时的均匀烧结的推进受到阻碍,仅相邻的导电性粉末彼此进行烧结。导电性粉末在表观上大幅生长,不会形成致密的煅烧膜而发生断线,因此对各种煅烧环境的应对并不充分。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开2004-127529号公报
专利文献2:日本特开2010-153362号公报
专利文献3:日本特开2004-111187号公报。
发明内容
发明要解决的问题
本发明的目的在于提供感光性导电糊剂,感光性导电糊剂使用了氧化钛,其按照各种煅烧环境能够形成特征在于不发生断线的致密的煅烧膜、期望的适当形状、电阻值的廉价导电性配线。
用于解决问题的手段
为了解决上述课题,本发明的感光性导电糊剂采取以下构成。即感光性导电糊剂,其为含有无机成分和感光性有机成分的感光性导电糊剂,所述无机成分包含导电性粉末、玻璃料以及氧化钛颗粒,其特征在于,该氧化钛颗粒的含量相对于该导电性粉末100重量份为0.1~5.0重量份、体积平均粒径为0.001~1.0μm。
发明的效果
本发明的目的在于提供感光性导电糊剂,其中,若使用本发明的感光性导电性糊剂,按照各种煅烧环境,能够形成特征在于不发生断线的致密煅烧膜、期望的适当形状、电阻值的廉价导电性配线。
具体实施方式
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