[发明专利]回卷装置、回卷方法、检查装置以及构造物制造方法

权利要求书

1.一种回卷装置，其将贴合的第一片与第二片卷绕在卷芯上从而形成回卷体，其中，所述回卷装置具备：

光源单元，其射出放射光；

分割部，其将所述放射光分割为照射在贴合的所述第一片与所述第二片的侧面部上的测定光和照射在参照面上的参照光；

干涉检测部，其检测由所述参照面反射的所述参照光与由所述侧面部反射的所述测定光干涉而成的干涉光；

位置检测部，其根据检测到的所述干涉光而分别检测所述第一片与所述第二片的位置；

判定部，其根据检测到的所述第一片与所述第二片的所述位置来判定所述回卷体的优劣。

2.如权利要求1所述的回卷装置，其中，

所述位置检测部对基于检测出的所述干涉光的信号进行频率解析而分别检测所述第一片与所述第二片的位置。

3.如权利要求2所述的回卷装置，其中，

还具备反馈控制部，其根据检测出的所述第一片与所述第二片的所述位置，输出用于调节所述第一片的位置、或者所述第二片的位置的反馈信号。

4.如权利要求3所述的回卷装置，其中，

所述光源单元具有射出波长以恒定的周期变化的放射光的光源。

5.如权利要求4所述的回卷装置，其中，

所述放射光为红外光。

6.如权利要求5所述的回卷装置，其中，

所述第一片为电极，所述第二片为隔离件。

7.如权利要求6所述的回卷装置，其中，

还具备使所述第一片与所述第二片贴合的贴合辊。

8.如权利要求7所述的回卷装置，其中，

还具备第一光学构件，

所述第一光学构件使所述测定光照射在所述侧面部上的位置、且所述第一片与所述第二片开始卷绕在所述回卷体上的接点与所述贴合辊之间的位置。

9.如权利要求8所述的回卷装置，其中，

所述第一光学构件以使所述侧面部上的所述测定光的点径达到所述第一片与所述第二片的合计厚度的90％以上并且110％以下的方式成形所述测定光。

10.如权利要求9所述的回卷装置，其中，

所述第一光学构件使照射在所述侧面部上的所述测定光的点形状成形成椭圆形状，并且使贴合的所述第一片和所述第二片的移动方向与所述椭圆形状的长轴正交，而且使所述侧面部上的所述椭圆形状的所述长轴的长度达到所述第一片与所述第二片的合计厚度的90％以上并且110％以下。

11.如权利要求10所述的回卷装置，其中，

所述第一光学构件使所述测定光照射在所述接点上。

12.如权利要求11所述的回卷装置，其中，

所述位置检测部根据作为频率解析的结果而获取的所述干涉光的强度分布中含有的波峰形状来检测所述第一片与所述第二片的各自的位置。

13.如权利要求6所述的回卷装置，其中，

还具备第二光学构件，

所述第二光学构件使所述测定光照射在所述侧面部上的位置、且所述第一片与所述第二片开始卷绕在所述回卷体上的接点的位置。

14.一种检查装置，其对具有被贴合了的第一片与第二片的部件进行检查，其中，所述检查装置具备：

光源单元，其射出放射光；

分割部，其将所述放射光分割为照射在所述第一片与所述第二片的侧面部上的测定光和照射在参照面上的参照光；

干涉检测部，其检测由所述参照面反射的所述参照光与由所述侧面部反射的所述测定光干涉而成的干涉光；

位置检测部，其根据检测到的所述干涉光而分别检测所述第一片与所述第二片的位置；

判定部，其根据检测到的所述第一片与所述第二片的所述位置来判定所述部件的优劣。

15.如权利要求14所述的检查装置，其中，

所述位置检测部对基于检测出的所述干涉光的信号进行频率解析而分别检测所述第一片与所述第二片的位置。

16.如权利要求15所述的检查装置，其中，

所述放射光为红外光。