[发明专利]光学部件

权利要求书

1.一种光学部件(40；40a)，包含：

a.反射镜阵列(22)，具有多个反射镜元件(23)，

i.所述多个反射镜元件各具有至少一个位移自由度，以及

ii.所述多个反射镜元件各连接至用于位移的至少一个致动器(131)，

b.承载结构(43)，其机械地连接至所述反射镜阵列(22)，

c.多个信号线(47)，用于所述致动器(131)与外部全局控制/调节装置(134)的信号传输连接，所述外部全局控制/调节装置(134)用于预定单独反射镜元件(23)的绝对位置，以及

d.用于调节所述反射镜元件(23)的定位的多个本地调节装置(136)，

e.其中，全体所述反射镜元件(23)形成所述反射镜阵列(22)的总反射表面的拼接，

f.其中，所述反射镜阵列(22)具有垂直于表面法线(41)延伸的总表面，

g.其中，所述承载结构(43)在垂直于所述表面法线(41)的方向上突出所述反射镜阵列(22)的总表面之外至多5mm，以及

h.其中，所述本地调节装置(136)分别完全集成在所述部件(40；40a)中，

其中，所述本地调节装置导致以特定频率范围有效制动所述反射镜元件的振动，该特定频率范围对应于反射镜元件的固有频率或其几倍的范围。

2.根据权利要求1所述的部件(40；40a)，其特征在于，所述反射镜元件(23)中的每一个被分配所述本地调节装置(136)中相应的一个。

3.根据权利要求2所述的部件(40；40a)，其特征在于，所述本地调节装置(136)在分别完全布置在由所关联的反射镜元件(23)的平行投影所限定的体积中。

4.根据上述权利要求中任一项所述的部件(40；40a)，其特征在于，所述本地调节装置(136)各具有至少一个电子电路(137)。

5.根据权利要求4所述的部件(40；40a)，其特征在于，所述电子电路(137)布置在所述承载结构(43)中。

6.根据权利要求1至3中任一项所述的部件(40；40a)，其特征在于，所述本地调节装置(136)分别被实施为主动阻尼装置，用于所述反射镜元件(23)的精确定位和/或振动的主动抑止。

7.根据权利要求1至3中任一项所述的部件(40；40a)，其特征在于所述光学部件包含接口(55)，其用于将所述信号线(47)以信号传输方式连接到外部全局控制/调节装置(134)。

8.一种反射镜系统(157)，包含：

a.根据权利要求1至7中任一项所述的至少一个部件(40；40a)，

b.移动所述反射镜元件(23)的全局控制/调节装置(132，134)。

9.根据权利要求8所述的反射镜系统(157)，其特征在于，所述全局控制/调节装置(134)和所述本地调节装置(136)具有的带宽的比例为至多1:10。

10.根据权利要求8或9所述的反射镜系统(157)，其特征在于，所述全局控制/调节装置(134)具有查找表，以确定所述反射镜元件(23)的位移的校正值。

11.一种光学组件(65)，包含：

a.底板(59)，用于布置光学部件(40；40a)，

b.至少一个根据权利要求1至7中任一项所述的光学部件(40；40a)，

c.其中，所述至少一个光学部件(40；40a)利用固定装置(66)固定在所述底板上。

12.一种定位反射镜系统(157)的多个反射镜元件(23)的方法，包含以下步骤：

a.利用全局控制/调节装置(134)预定用于定位所述反射镜元件(23)中的每一个的绝对位置数据，

b.利用本地调节装置(136)抑止所述反射镜元件(23)的定位的干扰，

其中，所述本地调节装置导致以特定频率范围有效制动所述反射镜元件的振动，该特定频率范围对应于反射镜元件的固有频率或其几倍的范围。

13.一种投射曝光设备(1)的光学单元(4，7)，包含根据权利要求8至10中任一项所述的反射镜系统(157)。