[发明专利]光学部件

说明书

相关申请的交叉引用

通过参考将德国专利申请DE 10 2012 202 501.4的内容并入于此。

本发明涉及一种光学部件。本发明还涉及一种包含该类型部件的反射镜系统和光学组件。而且，本发明涉及一种定位反射镜系统的多个反射镜元件的方法。最后，本发明涉及一种包含该类型反射镜系统的投射曝光设备的光学单元，一种包含该类型的光学单元的EUV投射曝光设备的照明系统，以及相应的投射曝光设备。最后，本发明涉及一种制造微结构化或纳米结构化部件的方法，以及根据该方法制造的部件。

从现有技术可知包含由多个单独反射镜构成的反射镜的光学组件。例如，WO 2010/049 076 A2公开了一种具有多个可移动的单独反射镜的反射镜阵列。

本发明的一个目的是改进该类型的光学部件。

利用这样的光学部件来实现该目的，该光学部件包含：a.反射镜阵列，具有多个反射镜元件，

i.所述多个反射镜元件各具有至少一个位移自由度，以及

ii.所述多个反射镜元件各连接至用于位移的至少一个致动器，

b.承载结构，其机械地连接至所述反射镜阵列，

c.多个信号线，用于所述致动器与外部全局控制/调节装置的信号传输连接，所述外部全局控制/调节装置用于预定单独反射镜元件的绝对位置，以及

d.用于调节所述反射镜元件的定位的多个本地调节装置，

e.其中，全体所述反射镜元件形成所述反射镜阵列的总反射表面的拼接，

f.其中，所述反射镜阵列具有垂直于表面法线延伸的总表面，

g.其中，所述承载结构在垂直于所述表面法线的方向上突出所述反射镜阵列的总表面之外至多5mm，以及

h.其中，所述调节装置分别完全集成在所述部件中。本发明的核心在于使用两个至少部分不同的控制/调节系统，以定位反射镜阵列的多个反射镜元件。

根据本发明，已认识到，定位反射镜元件所需的数据流可通过调节反射镜元件的定位的多个本地调节装置来显著减少，该本地调节装置集成在光学部件中或光学部件的承载结构中。特别地，该调节装置全部集成在光学部件中或光学部件的承载结构中。这应被理解为表示调节装置的所有组成部分集成在部件或部件的承载结构中。特别地，这些本地调节装置用于抑止反射镜元件的振动，由于始终存在的基点激励(base point excitations)，反射镜元件的振动根本不能完全避免。它们在各个情况中形成反馈系统。本地调节装置导致以特定频率范围有效制动反射镜元件的振动，该特定频率范围在下文中称为带宽。本地调节装置具有在反射镜元件的固有频率或其几倍的范围中的带宽。调节装置的带宽尤其为至少500Hz，尤其至少为1kHz，尤其至少为2kHz，尤其至少为5kHz，尤其至少为10kHz。特别地，调节装置各包含至少一个速度传感器。位置传感器还可提供作为传感器。反射镜元件的速度也可利用位置传感器确定。因此，反馈信号时相应反射镜元件的速度。该信号利用本地传感器(即，集成在部件中的传感器)读出。各个调节装置的调节器还本地地实施，即，以集成在部件中的方式实施。本地调节装置尤其仅用于调节反射镜元件相对于承载结构的定位，尤其制动或抑制这种运动。

对于反射镜元件的绝对定位，部件具有多个信号线，用于致动器到全局控制/调节系统的信号传输连接。特别地，全局控制/调节系统包含外部控制/调节装置，其可布置为与光学部件分离，并且尤其不是光学部件的一部分。利用全局控制/调节装置，可预定反射镜阵列的多个反射镜元件的绝对位置，尤其是反射镜阵列的所有反射镜元件的绝对位置。至少部分信号线还可至少部分地用作本地控制回路的一部分。原则上，还可设想使本地控制回路和全 局信号线彼此完全分离，并因此在各个情况中提供完全分离的信号路径。

此外，本地控制/调节系统和全局控制/调节系统尤其可访问相同的驱动级(driver stage)，以激活反射镜元件的致动器。换言之，驱动级可为本地控制回路的一部分或全局控制/调节系统的一部分。

此外，定位各个反射镜元件的本地控制/调节系统和全局控制/调节系统在各个情况中可使用同一致动器或相同的致动器，即，在各个情况中由全局控制/调节系统和由本地控制/调节系统激活的致动器。在该情况中，校正由全局控制/调节装置产生的定位信号的校正信号可利用本地调节装置产生。作为其替代，本地控制回路还可实施为闭环控制系统，尤其具有分离的致动器。

根据另一方面，本发明涉及一种光学部件，其包含：

a.反射镜阵列，具有多个反射镜元件，