[发明专利]输送系统

权利要求书

1.一种输送系统，其特征在于，

是输送附有能够唯一地识别的识别信息的被输送物的输送系统，具备：

收纳架，设置于半导体制造装置的附近，该收纳架收纳所述被输送物；

堆垛起重机，向所述收纳架搬入所述被输送物，并且从所述收纳架搬出所述被输送物；

顶棚输送车，沿设置于顶棚部的轨道行驶，并使把持所述被输送物的夹具升降来输送所述被输送物；

识别信息获取单元，设置于所述堆垛起重机，该识别信息获取单元获取附于所述被输送物的所述识别信息；以及

控制单元，在通过所述识别信息获取单元获取的所述识别信息和所述被输送物的输送指令所包含的识别信息一致的情况下，该控制单元以将所述被输送物输送至所述输送指令中的输送目的地的方式来控制所述堆垛起重机，

所述收纳架的至少一部分能够进行通过所述顶棚输送车的所述夹具进行的所述被输送物的取放。

2.根据权利要求1所述的输送系统，其特征在于，

在所述半导体制造装置的装载端口，能够进行通过所述堆垛起重机以及所述顶棚输送车进行的所述被输送物的搬入以及搬出。