[发明专利]输送系统

说明书

技术领域

本发明涉及输送系统。

背景技术

作为以往的输送系统，例如已知有专利文献1所记载的输送系统。在专利文献1所记载的输送系统中，具备：输送车，输送安装有ID标签的盒，并且在输送车上搭载有识别ID标签的ID阅读器；以及载置盒的工位，通过安装于盒的ID标签来管理盒的输送。

专利文献1:日本特开2002－179203号公报

从输送的准确性以及效率的观点来看，如在上述专利文献1中记载的输送系统那样，通过ID标签来管理盒是有效的。这里，近年，在半导体器件的制造中处理的高速化被不断推进，要求半导体制造装置中的生产节拍时间的缩短，但与此同时也要求工序间的半导体晶片的输送时间的进一步的改善。并且，随着近年的半导体晶片的大型化，作为收纳晶片的容器的FOUP(Front Opening Unified Pod(前开式晶圆盒)，盒)也大型化。因此，在半导体制造工厂中，比以往更需要收纳FOUP的空间，但在有限的空间内确保收纳FOUP的空间并不容易。

发明内容

本发明的目的在于提供一种能够确保被输送物的收纳空间，并能够准确且高效地输送被输送物的输送系统。

本发明的一个侧面所涉及的输送系统是输送附有能够唯一地识别的识别信息的被输送物的输送系统，具备：收纳架，设置于半导体制造装置的附近，收纳架收纳被输送物；堆垛起重机，向收纳架搬入被输送物，并且从收纳架搬出被输送物；顶棚输送车，沿设置于顶棚部的轨道行驶，并使把持被输送物的夹具升降来输送被输送物；识别信息获取单元，设置于堆垛起重机，识别信息获取单元获取附于被输送物的识别信息；以及控制单元，在通过识别信息获取单元获取的识别信息和被输送物的输送指令所包含的识别信息一致的情况下，以将被输送物输送至输送指令中的输送目的地的方式来控制堆垛起重机，收纳架的至少一部分能够进行通过顶棚输送车的夹具进行的被输送物的取放。

在该输送系统中，在半导体制造装置的附近设置有收纳被输送物的收纳架。由此，能够确保收纳被输送物的空间。并且，由于在输送系统中，将收纳架配置于半导体制造装置的附近，所以能够迅速地进行在收纳架和装载端口之间的被输送物的移载。另外，在输送系统中，收纳架的至少一部分能够进行通过顶棚输送车的夹具进行的被输送物的取放。像这样，在输送系统中，通过成为顶棚输送车能够向收纳架存取的结构，能够使收纳架作为用于在堆垛起重机和顶棚输送车之间交换被输送物的端口发挥作用。由此，在输送系统中，能够高效地实施被输送物的输送。并且，在输送系统中，在附于被输送物的识别信息和输送指令所包含的识别信息一致的情况下，以将被输送物输送至输送指令中的输送目的地的方式来控制堆垛起重机。由此，在输送系统中，能够将被输送物准确地输送至特定的输送目的地。如上所述，在输送系统中，能够确保被输送物的收纳空间，并能够准确且高效地输送被输送物。

在一实施方式中，在半导体制造装置的装载端口中，也可以进行通过堆垛起重机以及顶棚输送车进行的被输送物的搬入以及搬出。由此，在输送系统中，能够通过顶棚输送车直接地向装载端口搬入以及搬出被输送物。因此，在输送系统中，实现了为了将被输送物交接给堆垛起重机而临时保管被输送物的时间的缩短，并且，也能够缩短通过堆垛起重机进行移载的时间，所以能够迅速地输送被输送物。另外，在输送系统中，也能够实现被输送物的移载的自由度的提高。因此，在输送系统中，能够实现被输送物的输送效率的进一步的提高。

根据本发明，能够确保被输送物的收纳空间，并能够准确且高效地输送被输送物。

附图说明

图1是从上方观察一实施方式所涉及的输送系统的图。

图2是表示图1所示的输送系统的立体图。

图3是表示输送系统的系统结构的框图。

图4是表示输送系统的动作的流程图。

具体实施方式

以下，参照附图对优选的实施方式进行详细说明。应予说明，在附图的说明中，对相同或者相应部件标注相同符号，并省略重复的说明。

图1是从上方观察一实施方式所涉及的输送系统的图。图2是表示图1所示的输送系统的立体图。图3是表示输送系统的系统结构的框图。