[发明专利]流量控制装置以及流量控制方法

权利要求书

1.一种流量控制装置，具备：

压电元件，其与构成流量调整阀的阀体相连结，通过使该阀体动作来调整流量；

驱动电路，其通过对该压电元件施加电压来驱动该压电元件；

接收单元，其接收目标流量；以及

输出单元，为了使流量变换为与上述接收单元接收到的目标流量一致，该输出单元将与要施加到上述压电元件的电压对应的信号输出到上述驱动电路，

该流量控制装置的特征在于，

在上述接收单元接收到的目标流量发生变化时，上述输出单元过渡性地输出与不同于变化后的目标流量所对应的目标电压值的电压值对应的信号，之后输出与收敛到该目标电压值的电压变化对应的信号。

2.根据权利要求1所述的流量控制装置，其特征在于，

在上述流量调整阀处于关闭状态的情况下上述接收单元接收到的目标流量发生变化时，与在该流量调整阀不处于关闭状态的情况下该目标流量发生变化时相比，上述输出单元向上述驱动电路输出与相对于变化后的目标流量所对应的目标电压值示出更大振幅的电压变化对应的信号。

3.根据权利要求1或者2所述的流量控制装置，其特征在于，

在上述流量调整阀处于关闭状态的情况下上述接收单元接收到的目标流量发生变化时，上述输出单元将与钉状的电压变化对应的信号输出到上述驱动电路。

4.根据权利要求1或者2所述的流量控制装置，其特征在于，

在上述流量调整阀处于关闭状态的情况下上述接收单元接收到的目标流量发生变化时，上述输出单元输出与阶梯状地上升至比变化后的目标流量所对应的目标电压值高的电压值的电压变化对应的信号，之后将与收敛到该目标电压值的电压变化对应的信号输出到上述驱动电路。

5.一种流量控制装置，具备：

检测单元，其检测流过流路的流体的流量；

压电元件，其与构成打开和关闭上述流路的流量调整阀的阀体相连结，通过使该阀体动作来调整流量；

驱动电路，其通过对该压电元件施加电压来驱动该压电元件；

接收单元，其接收流体的目标流量；以及

控制单元，其根据该接收单元接收到的目标流量与上述检测单元检测出的流量之间的偏差，将与要施加到上述压电元件的电压对应的信号输出到上述驱动电路，由此经由该驱动电路和该压电元件来控制流量，

该流量控制装置的特征在于，

上述控制单元具有：

生成单元，其生成与上述偏差对应的信号；以及

补偿单元，其通过包含与上述压电元件的电特性有关的数值以及与该压电元件的响应特性相应的常数的控制要素，对上述生成单元生成的信号进行补偿，

其中，将上述补偿单元补偿后的信号输出到上述驱动电路。

6.根据权利要求5所述的流量控制装置，其特征在于，

上述控制要素具有：

第一传递函数，其包含与上述压电元件的电特性有关的增益；以及

第二传递函数，其包含与上述压电元件的响应特性相应的常数和上述增益。

7.根据权利要求6所述的流量控制装置，其特征在于，

上述第一传递函数和上述第二传递函数还包含与上述驱动电路的电特性有关的增益。

8.根据权利要求6或者7所述的流量控制装置，其特征在于，

上述控制要素与从上述控制单元向上述驱动电路输入信号起至上述压电元件使上述阀体动作为止的响应有关。

9.根据权利要求6～8中的任一项所述的流量控制装置，其特征在于，

在关闭上述流量调整阀的情况下，上述控制单元使上述驱动电路施加到上述压电元件的电压向进一步关闭该流量调整阀的方向与使该流量调整阀的阀门开度成为零的电压相差规定电压Vc，

在上述流量调整阀处于关闭状态的情况下上述接收单元接收到的目标流量发生变化时，上述补偿单元对上述生成单元生成的信号叠加上述Vc所得到的信号进行补偿。