[发明专利]流量控制装置以及流量控制方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种对流体的流量进行控制的流量控制装置以及程序。

背景技术

针对在半导体、液晶面板等的制造工序中使用的流量控制装置，要求与流量设定值的变化对应的高速的流量响应。因此，存在一种对于流量设定值的变化迅速地改变流量的技术(例如参照专利文献1、2、3)。

专利文献1：美国专利第7603186号公报

专利文献2：日本特开2001-147723号公报

专利文献3：日本特开2012-168822号公报

发明内容

发明要解决的问题

另外，在用于打开和关闭流路的阀的致动器为压电致动器的情况下，其压电元件的电容大。因此，针对流量设定值的变化的压电致动器的位移响应慢，其结果是流量变化的响应也延迟。

专利文献1所涉及的技术为调整用于对流量进行PI控制的参数的技术，无法缩短由压电致动器的位移响应延迟引起的流量响应。在专利文献2所涉及的流量控制方法中，将比流体开始流动时的电压稍低的初始电压施加到压电元件，之后过渡到速度型PID控制。因此，为了加快响应，考虑提高专利文献2所涉及的初始电压。但是，在上述情况下，产生过冲而产品品质下降。专利文献3所涉及的流量控制装置通过数字运算对阀开度的操作量中的相位偏移进行补偿，但是其响应性与以往的流量控制装置中的响应性相同。

本申请是鉴于所述情形而完成的。其目的在于提供一种能够实现无过冲且高速的响应控制的流量控制装置以及程序。

用于解决问题的方案

本申请所涉及的流量控制装置具备：压电元件，其与构成流量调整阀的阀体相连结，通过使该阀体动作来调整流量；驱动电路，其通过对该压电元件施加电压来驱动该压电元件；接收单元，其接收目标流量；以及输出单元，为了使流量变换为与上述接收单元接收到的目标流量一致，该输出单元将与要施加到上述压电元件的电压对应的信号输出到上述驱动电路，该流量控制装置的特征在于，在上述接收单元接收到的目标流量发生变化时，上述输出单元过渡性地输出与不同于变化后的目标流量所对应的目标电压值的电压值对应的信号，之后输出与收敛到该目标电压值的电压变化对应的信号。

本申请所涉及的流量控制装置具备输出单元，该输出单元将与驱动电路要施加于压电元件的电压对应的信号输出至驱动电路。在接收到的目标流量发生变化时，输出单元过渡性地输出与不同于变化后的目标流量所对应的目标电压值的电压值对应的信号。输出单元之后输出与收敛到变化后的目标电压值的电压变化对应的信号。

本申请所涉及的流量控制装置的特征在于，在上述流量调整阀处于关闭状态的情况下上述接收单元接收到的目标流量发生变化时，与在该流量调整阀不处于关闭状态的情况下该目标流量发生变化时相比，上述输出单元向上述驱动电路输出与相对于变化后的目标流量所对应的目标电压值示出更大振幅的电压变化对应的信号。

在本申请所涉及的流量控制装置中，在流量调整阀处于关闭状态的情况下接收到的目标流量发生变化时，与在流量调整阀不处于关闭状态的情况下接收到的目标流量发生变化时相比，输出单元向驱动电路输出与相对于变化后的目标流量所对应的目标电压值示出更大的振幅的电压变化对应的信号。

本申请所涉及的流量控制装置的特征在于，在上述流量调整阀处于关闭状态的情况下上述接收单元接收到的目标流量发生变化时，上述输出单元将与钉状的电压变化对应的信号输出到上述驱动电路。

在本申请所涉及的流量控制装置中，在流量调整阀处于关闭状态的情况下接收到的目标流量发生变化时，输出单元将与钉状的电压变化对应的信号输出到驱动电路。

本申请所涉及的流量控制装置的特征在于，在上述流量调整阀处于关闭状态的情况下上述接收单元接收到的目标流量发生变化时，上述输出单元输出与阶梯状地上升至比变化后的目标流量所对应的目标电压值高的电压值的电压变化对应的信号，之后将与收敛到该目标电压值的电压变化对应的信号输出到上述驱动电路。

在本申请所涉及的流量控制装置中，在流量调节阀处于关闭状态的情况下接收到的目标流量发生变化时，输出单元向驱动电路输出与阶梯状地高速地向比目标流量所对应的电压高的电压上升的电压变化对应的信号。