[发明专利]微粒污染物测量方法和装置

权利要求书

1.一种微粒污染物测量设备，包括载体承载的聚氨酯弹性体层，该载体配置成允许聚氨酯弹性体的测量表面压靠待测的表面并且随后被移除。

2.如权利要求1所述的设备，其中所述聚氨酯弹性体的测量表面是超净的。

3.如权利要求1所述的设备，其中所述聚氨酯弹性体的硬度低于80肖氏A。

4.如权利要求1至3中任一项所述的设备，其中所述聚氨酯弹性体的硬度高于20肖氏OO，例如高于20肖氏A。

5.如权利要求1至4中任一项所述的设备，其中所述聚氨酯弹性体的硬度在38至75肖氏A范围内。

6.如权利要求1至5中任一项所述的设备，其中所述聚氨酯弹性体的测量表面的粗糙度等于或小于1微米Ra。

7.如权利要求1至6中任一项所述的设备，其中所述载体是设置有孔的衬底，能够通过所述孔访问所述聚氨酯弹性体的测量表面。

8.如权利要求7所述的设备，其中所述衬底是柔性的。

9.如权利要求7或8所述的设备，其中所述载体具有信用卡坯的形状和尺寸。

10.如权利要求7至9中任一项所述的设备，其中通过所述孔将柔性片材设置到聚氨酯弹性体的相对侧上。

11.如权利要求1至6中任一项所述的设备，其中所述载体是探测装置，聚氨酯弹性体设置在探测装置的端部上。

12.一种微粒污染物测量设备，包括柔性材料，所述柔性材料比金属表面柔性更好，使得所述柔性材料的测量表面将与污染物微粒建立比污染物微粒和金属表面之间的接触面积大的接触面积，柔性材料的粘性充分强、使得残余物将不会从测量表面被转移至金属表面，测量表面是超净的。

13.一种微粒污染物测量设备，包括：

比固体表面柔性更好的材料，使得所述材料的测量表面将与污染物微粒建立比污染物微粒与固体表面之间的接触面积大的接触面积，

其中所述材料的粘性充分强、使得残余物将不会从测量表面被转移至固体表面，和

其中所述测量表面是超净的。

14.一种用于从固体表面获取可移除微粒污染物的取样器，包括：

载体和耦接至载体的柔性材料层，柔性材料层具有内表面和相对的外表面，其中载体布置成允许从固体表面剥离柔性材料层，其中外表面是适于在接触时将可移除微粒污染物从固体表面转移至外表面的微粒收集表面，和其中在接触所述固体表面之后，通过残余气体分析确定，柔性材料层将少于2E-12mbar/l sec.*cm²的、重量平均分子量在44至100g/mol范围内的有机材料留在固体表面上。

15.根据权利要求14所述的取样器，其中在接触所述固体表面之后，通过残余气体分析确定，柔性材料层将少于1.5E-13mbar/l sec.*cm²的、重量平均分子量在101至200g/mol范围内的有机材料留在固体表面上。

16.根据权利要求14或15所述的取样器，其中在接触所述固体表面之后，通过XPS确定，柔性材料层将少于0.1％原子百分比的Pb、Zn、Sn、In以及Si作为残余物留在固体表面和相应的环境中。

17.根据权利要求14至16中任一项所述的取样器，其中在接触所述固体表面之后，通过XPS确定，柔性材料层将少于0.5％原子百分比的除Pb、Zn、Sn、In以及Si之外的其它元素作为残余物留在固体表面和相应的环境中。

18.根据权利要求14至17中任一项所述的取样器，其中通过ASTMD2240方法确定，柔性材料层的硬度在20至80肖氏A范围内。