[发明专利]带电粒子束调整支援装置以及方法

权利要求书

1.一种带电粒子束调整支援装置，支援进行三维显示的带电粒子束装置的调整，所述带电粒子束调整支援装置的特征在于，具备：

二维调整值设定单元，其从调整者终端受理所述带电粒子束装置中的二维调整值，并发送给所述带电粒子束装置；

三维调整值设定单元，其从所述调整者终端受理所述带电粒子束装置中的三维调整值，并发送给所述带电粒子束装置；

调整值对应计算单元，其将所述二维调整值和所述三维调整值建立关联来生成二维-三维调整值对应信息，并保存在存储装置中；和

调整值获取单元，其基于所述二维调整值而从保存在所述存储装置中的所述二维-三维调整值对应信息之中检索类似的二维调整值，并获取所对应的三维调整值。

2.根据权利要求1所述的带电粒子束调整支援装置，其特征在于，

所述带电粒子束调整支援装置还具备：

最佳照射位置调整值估计单元，其以所述带电粒子束装置的二维调整值当中的探针电流的调整值和工作距离的调整值为基础，来估计三维调整值当中的获取左右倾斜图像时的观察对象中的带电粒子束的最佳的照射位置调整值；

最佳像散调整值估计单元，其以所述带电粒子束装置的二维调整值当中的像散的调整值为基础，来估计三维调整值当中的获取左右倾斜图像时的最佳的像散的调整值；和

聚焦最佳调整值估计单元，其以所述带电粒子束装置的二维调整值当中的聚焦的调整值为基础，来估计三维调整值当中的获取左右倾斜图像时的聚焦的最佳的调整值。

3.根据权利要求1所述的带电粒子束调整支援装置，其特征在于，

所述带电粒子束调整支援装置还具备：

使用所述三维调整值的多个候选在所述带电粒子束装置中获取图像并显示于所述调整者终端，以使调整者选择最佳的调整值的单元。

4.根据权利要求1所述的带电粒子束调整支援装置，其特征在于，

所述带电粒子束调整支援装置还具备：

二维调整值获取单元，其基于所述三维调整值而从保存在所述存储装置中的所述二维-三维调整值对应信息之中检索类似的三维调整值，并获取所对应的二维调整值。

5.一种带电粒子束调整支援方法，通过计算机来支援进行三维显示的带电粒子束装置的调整，其特征在于，

所述计算机

通过二维调整值设定单元，从调整者终端受理所述带电粒子束装置中的二维调整值，并发送给所述带电粒子束装置，

通过三维调整值设定单元，从设计者终端受理所述带电粒子束装置中的三维调整值，并发送给所述带电粒子束装置，

通过调整值对应计算单元，将所述二维调整值和所述三维调整值建立关联来生成二维-三维调整值对应信息，并保存在存储装置中，

通过调整值获取单元，基于所述二维调整值而从保存在存储装置中的所述二维-三维调整值对应信息之中检索类似的二维调整值，并获取所对应的三维调整值。

6.根据权利要求5所述的带电粒子束调整支援方法，其特征在于，

所述计算机还

通过最佳照射位置调整值估计单元，以所述带电粒子束装置的二维调整值当中的探针电流的调整值和工作距离的调整值为基础，来估计三维调整值当中的获取左右倾斜图像时的观察对象中的带电粒子束的最佳的照射位置调整值，

通过最佳像散调整值估计单元，以所述带电粒子束装置的二维调整值当中的像散的调整值为基础，来估计三维调整值当中的获取左右倾斜图像时的最佳的像散的调整值，

通过聚焦最佳调整值估计单元，以所述带电粒子束装置的二维调整值当中的聚焦的调整值为基础，来估计三维调整值当中的获取左右倾斜图像时的聚焦的最佳的调整值。

7.根据权利要求5所述的带电粒子束调整支援方法，其特征在于，

所述计算机还

通过最佳调整值选择单元，使用三维调整值的多个候选在所述带电粒子束装置中获取图像并显示于所述调整者终端，以使调整者选择最佳的调整值。

8.根据权利要求5所述的带电粒子束调整支援方法，其特征在于，

所述计算机还

通过二维调整值获取单元，基于所述三维调整值而从保存在存储装置中的所述二维-三维调整值对应信息之中检索类似的三维调整值，并获取所对应的二维调整值。