[发明专利]带电粒子束调整支援装置以及方法

说明书

技术领域

本发明涉及具备使带电粒子束发生倾斜的功能的图像显示装置，特别涉及对带电粒子束进行倾斜扫描时和无倾斜扫描时的带电粒子光学系统的调整方法。

背景技术

在以扫描电子显微镜为代表的带电粒子束装置中，在获取三维图像的情况下，采用左眼用的图像和右眼用的图像这样从角度不同的方向获取到的两张图像，利用使用了交叉法、平行法或红蓝眼镜的彩色立体图(anaglyph)法来进行立体观察。

另外，设计出相对于样本而使带电粒子束左右倾斜来获得样本的倾斜像的方式。作为使带电粒子束发生倾斜来获取角度不同的图像的现有技术，已知JP实开昭55-48610号公报(专利文献1)、以及JP特开平2-33843号公报(专利文献2)。它们公开了使带电粒子束入射到物镜的轴外并利用物镜的会聚作用而使带电粒子束发生倾斜的方法。

在JP特开2011-40240号公报(专利文献3)中，公开了：在带电粒子束装置中，提供不仅从上方向还从倾斜方向获取左右的视差图像的获取单元的方法、和提供能切换立体观察方法的视差图像显示单元以及操作画面的方法。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：JP实开昭55-48610号公报

专利文献2：JP特开平2-33843号公报

专利文献3：JP特开2011-40240号公报

发明内容

发明要解决的课题

近年来，在获取图像的带电粒子束装置的操作终端上，能实现一边显示无倾斜图像，一边显示左右的倾斜图像及其合成图像(彩色立体图像)这样的使用方法。无倾斜图像虽然不直接利用在立体观察中，但由于能获得分辨率最好的图像，因此能成为获取左右的倾斜图像时的范本。

在此，在使用无倾斜图像和倾斜图像两者时，为了获得无倾斜图像、左倾斜图像和右倾斜图像，需要对它们分别进行像散调整、焦点对准、以及观察对象表面上的带电粒子束的照射对位等的调整。

为此，电子显微镜的使用者在进行观察时不得不首先进行无倾斜图像用的调整，接下来进行左右的倾斜图像用的调整，故存在直到开始三维观察为止需要花费人力资源的课题。

针对该课题，在专利文献3示出了根据用于实现三维立体观察的视差角来求取电子显微镜光学透镜的倾斜控制线圈的电流值的方法，但关于需要依赖于对象的形状、三维图像的凹凸和观察者的左右眼的间隔来进行调整的像散调整、焦点对准、照射对位，则未提供任何支援电子显微镜使用者的手段。因此，现状是，为了用于三维立体观察的调整而需要极大的人力资源和工时。

本发明是用于解决上述课题的发明，目的在于提供能够支援带电粒子束装置中的三维观察、并降低其调整所需要的人力资源和工时的带电粒子束调整支援装置以及方法。

用于解决课题的手段

为了达成前述目的，对进行三维显示的带电粒子束装置的调整实施支援的带电粒子束调整支援装置具备：调整值对应计算单元(例如调整值对应计算部13)，其从调整者终端输入带电粒子束装置中的二维观察调整值信息和三维调整值信息，将二维调整值信息和三维观察调整值信息建立关联来生成二维-三维调整值对应信息，并保存在存储装置中；和调整值获取单元(例如调整值获取部14)，其基于二维观察调整值而从保存在存储部中的所述二维-三维调整值对应信息之中检索类似的二维观察调整值，并获取所对应的三维观察调整值。

发明效果

根据本发明，能够支援带电粒子束装置中的三维观察，并降低其调整作业所需要的人力资源和工时。

附图说明

图1是表示本发明的实施方式所涉及的带电粒子束调整支援装置的功能块的构成的示例的图。

图2是表示二维调整画面的示例的图。

图3是表示三维调整画面的示例的图。

图4是表示二维调整值信息、三维调整值信息、以及二维-三维调整值对应信息的数据结构的示例的图。

图5是表示探测三维调整的结束的处理流程的示例的图。

图6是表示探测三维调整的各处理的结束的处理流程的示例的图。

具体实施方式

以下，参照附图来详细说明本发明的实施方式。

图1是表示本发明的实施方式所涉及的带电粒子束调整支援装置的构成的示例的图。如图1所示，带电粒子束调整支援装置1具备：处理部10、存储部20、以及网络接口30等。