[发明专利]分光传感器

权利要求书

1.一种分光传感器，其特征在于，

包括：

干涉滤光部，其具有腔层以及隔着所述腔层相对的第1和第2镜层，根据入射位置选择性地使规定的波长范围的光从所述第1镜层侧透过至所述第2镜层侧；

光检测基板，其具有透过了所述干涉滤光部的光进行入射的受光面，对入射到所述受光面的光进行检测；以及

隔板，其从所述腔层到达所述第1和所述第2镜层的至少一方，在从与所述受光面交叉的规定的方向观察的情况下将所述干涉滤光部光学性地分离。

2.如权利要求1所述的分光传感器，其特征在于，

所述隔板从所述腔层至少到达所述第2镜层。

3.如权利要求2所述的分光传感器，其特征在于，

所述隔板从所述腔层到达所述第1和所述第2镜层的双方。

4.如权利要求1～3中任一项所述的分光传感器，其特征在于，

还具备：

第1耦合层，其配置在所述干涉滤光部和所述光检测基板之间，使从所述干涉滤光部行进至所述光检测基板的光透过，

所述隔板经由所述第2镜层而到达所述第1耦合层。

5.如权利要求1～4中任一项所述的分光传感器，其特征在于，

还具备：

光透过基板，使入射到所述干涉滤光部的光透过；以及

第2耦合层，配置在所述光透过基板和所述干涉滤光部之间，使从所述光透过基板行进至所述干涉滤光部的光透过，

所述隔板经由所述第1镜层而到达所述第2耦合层。

6.如权利要求5所述的分光传感器，其特征在于，

所述腔层和所述第2耦合层由相同材料构成。

7.如权利要求1～6中任一项所述的分光传感器，其特征在于，

所述第1镜层和所述第2镜层之间的所述规定的方向上的距离变化，

所述隔板的所述受光面侧的端部和所述受光面之间的所述规定的方向上的距离固定，

所述隔板的与所述受光面相反侧的端部和所述受光面之间的所述规定的方向上的距离固定。

8.如权利要求1～7中任一项所述的分光传感器，其特征在于，

在从所述规定的方向观察的情况下，所述隔板以横穿过所述受光面的方式延伸。

9.如权利要求1～8中任一项所述的分光传感器，其特征在于，

还具备：

反射防止膜，其配置在所述干涉滤光部和所述光检测基板之间，防止入射到所述受光面的光的反射。

10.如权利要求1～8中任一项所述的分光传感器，其特征在于，

在所述光检测基板的所述干涉滤光部侧的表面上实施防止入射到所述受光面的光的反射的反射防止处理。

11.如权利要求1～10中任一项所述的分光传感器，其特征在于，

所述规定的方向为与所述受光面垂直的方向。