[发明专利]具有独立能旋转机身中段的机械手系统、设备及方法有效

专利信息
申请号: 201380023179.6 申请日: 2013-04-02
公开(公告)号: CN104380452B 公开(公告)日: 2016-10-19
发明(设计)人: 杰弗里·C·赫金斯;伊贾·克雷默曼 申请(专利权)人: 应用材料公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;B25J9/04;B65G49/07;B25J18/04
代理公司: 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 代理人: 徐金国;赵静
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要:
搜索关键词: 具有 独立 旋转 机身 中段 机械手 系统 设备 方法
【权利要求书】:

1.一种机械手设备,包括:

第一悬臂,适于围绕第一旋转轴旋转;

第一上臂,所述第一上臂在自所述第一旋转轴偏离的位置处耦接所述第一悬臂,所述第一上臂能围绕第二旋转轴旋转;

第一前臂,所述第一前臂耦接所述第一上臂,并适于相对于所述第一上臂围绕第三旋转轴旋转,所述第三旋转轴在自所述第二旋转轴偏离的位置处;

第一腕部构件,所述第一腕部构件耦接所述第一前臂,并适于相对于所述第一前臂围绕第四旋转轴旋转,所述第四旋转轴在自所述第三旋转轴偏离的位置处,所述第一腕部构件适于耦接第一端效器;

第二悬臂,所述第二悬臂适于独立于所述第一悬臂围绕第五旋转轴旋转;

第二上臂,所述第二上臂在自所述第五旋转轴偏离的位置处耦接所述第二悬臂,所述第二上臂能围绕第六旋转轴旋转;

第二前臂,所述第二前臂耦接所述第二上臂,并适于相对于所述第二上臂围绕第七旋转轴旋转,所述第七旋转轴在自所述第六旋转轴偏离的位置处;以及

第二腕部构件,所述第二腕部构件耦接所述第二前臂,并适于相对于所述第二前臂围绕第八旋转轴旋转,所述第八旋转轴在自所述第七旋转轴偏离的位置处,所述第二腕部构件适于耦接第二端效器。

2.如权利要求1所述的机械手设备,包括:

驱动组件,所述驱动组件具有

第一悬臂驱动组件,所述第一悬臂驱动组件具有第一悬臂驱动轴,适于致使所述第一悬臂相对于所述第二悬臂独立旋转;以及

第二悬臂驱动组件,所述第二悬臂驱动组件具有第二悬臂驱动轴,适于致使所述第二悬臂相对于所述第一悬臂独立旋转。

3.如权利要求1所述的机械手设备,包括:

驱动组件,所述驱动组件具有

第一上臂驱动组件,所述第一上臂驱动组件包括第一上臂驱动马达和第一上臂驱动轴,所述第一上臂驱动马达的转子耦接所述第一上臂驱动轴,以及所述第一上臂驱动马达的定子固定装配在马达外壳中。

4.如权利要求3所述的机械手设备,其中所述驱动组件还包括:

第二上臂驱动组件,所述第二上臂驱动组件包括第二上臂驱动马达和第二上臂驱动轴,所述第二上臂驱动马达的转子耦接所述第二上臂驱动轴,以及所述第二上臂驱动马达的定子固定装配在马达外壳中。

5.如权利要求1所述的机械手设备,其中第一悬臂驱动轴、第二悬臂驱动轴、第一上臂驱动轴及第二上臂驱动轴每一个能围绕所述第一旋转轴独立旋转。

6.如权利要求1所述的机械手设备,其中所述第一前臂和所述第一腕部构件适于回应所述第一上臂的旋转而旋转。

7.如权利要求1所述的机械手设备,其中所述第二前臂和所述第二腕部构件适于回应所述第二上臂的旋转而旋转。

8.如权利要求1所述的机械手设备,所述机械手设备包括第一前臂驱动组件,所述第一前臂驱动组件具有第一前臂驱动构件、第一前臂从动构件及第一前臂传动元件,所述第一前臂驱动构件刚性地耦接所述第一悬臂,并且所述第一前臂传动元件连接于所述第一前臂驱动构件与所述第一前臂从动构件之间。

9.如权利要求1所述的机械手设备,所述机械手设备包括第二前臂驱动组件,所述第二前臂驱动组件具有与所述第二悬臂刚性地耦接的第二前臂驱动构件,所述第二前臂的第二前臂从动构件,及第二前臂传动元件,所述第二前臂传动元件连接于所述第二前臂驱动构件与第二前臂被驱动部件之间。

10.如权利要求1所述的机械手设备,所述机械手设备包括第一腕部驱动组件,所述第一腕部驱动组件具有第一腕部驱动构件、第一腕部从动构件及第一腕部构件传动元件,所述第一腕部驱动构件刚性地耦接所述第一上臂,所述第一腕部构件传动元件连接于所述第一腕部驱动构件与所述第一腕部从动构件之间。

11.如权利要求1所述的机械手设备,所述机械手设备包括第二腕部驱动组件,所述第二腕部驱动组件具有第二腕部驱动构件、第二腕部从动构件及第二腕部构件传动元件,所述第二腕部驱动构件刚性地耦接所述第二上臂,所述第二腕部构件传动元件连接于所述第二腕部驱动构件与所述第二腕部从动构件之间。

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