[发明专利]具有独立能旋转机身中段的机械手系统、设备及方法

说明书

相关申请

本国际申请案主张于2012年4月12日提交申请的名称“ROBOT SYSTEMS,APPARATUS,AND METHODS HAVING INDEPENDENTLY ROTATABLE WAISTS”(代理人编号17504/L)的美国临时申请案第61/623,128号的优先权。为了所有的目的，所述美国申请案的内容以全文引用的方式并入本文。

发明领域

本发明涉及一种电子装置生产，且特别是涉及一种适于传送基板的系统、设备及方法。

背景

传统的电子装置生产系统可包括处理工具，所述处理工具具有多个腔室，比如处理腔室，及一个或多个负载锁定腔室。这些处理腔室可以用来在基板上执行任意数量的工艺，比如沉积，氧化，氮化，蚀刻，研磨，清洗，光刻，测量或诸如此类。在此所称的基板为硅晶片，硅板，玻璃面板，及诸如此类。举例来说，在处理工具中，多个上述腔室可以分布在位于中央的传递腔室附近。传递机械手可以座落于传递腔室内，且配置以适于在各个腔室之间传送基板。举例来说，传递可以介于处理腔室之间，或者介于处理腔室与负载锁定腔室之间。传统的狭缝阀可以位于每个对应腔室的入口。要求在这些腔室之间有效率且精准地传送基板，以改善系统产量。

因此，需要用于有效率且精准移动基板的改良系统、设备及方法。

发明内容

本发明的第一方面中，提供一种机械手设备。机械手设备适于在电子装置处理系统中传送基板。机械手设备包括第一悬臂，适于围绕第一旋转轴旋转，第一上臂，所述第一上臂在自所述第一旋转轴偏离的位置处耦接所述第一悬臂，所述第一上臂能围绕第二旋转轴旋转，第一前臂，所述第一前臂耦接所述第一上臂，并适于相对于所述第一上臂围绕第三旋转轴旋转，所述第三旋转轴在自所述第二旋转轴偏离的位置处，第一腕部构件，所述第一腕部构件耦接所述第一前臂，并适于相对于所述第一前臂围绕第四旋转轴旋转，所述第四旋转轴在自所述第三旋转轴偏离的位置处，所述第一腕部构件适于耦接第一端效器，以及第二悬臂，所述第二悬臂适于独立于所述第一悬臂围绕第五旋转轴旋转，第二上臂，所述第二上臂在自所述第五旋转轴偏离的位置处耦接所述第二悬臂，所述第二上臂能围绕第六旋转轴旋转，第二前臂，所述第二前臂耦接并适于相对于所述第二上臂，围绕第七旋转轴旋转，所述第七旋转轴在自所述第六旋转轴偏离的位置处，第二腕部构件，所述第二腕部构件耦接并适于相对于所述第二前臂，围绕第八旋转轴旋转，所述第八旋转轴在自所述第七旋转轴偏离的位置处，所述第二腕部构件适于耦接第二端效器。

根据本发明的另一方面，提出一种电子装置处理系统。电子装置处理系统包括腔室，机械手设备，所述机械手设备至少部分容纳于所述腔室，并适于传送基板进出处理腔室，机械手设备包括第一悬臂，适于围绕第一旋转轴旋转，第一上臂，所述第一上臂在偏离所述第一旋转轴的位置处耦接所述第一悬臂，所述第一上臂能围绕第二旋转轴旋转，第一前臂，所述第一前臂耦接所述第一上臂，并适于相对于所述第一上臂围绕第三旋转轴旋转，所述第三旋转轴在自所述第二旋转轴偏离的位置处，第一腕部构件，所述第一腕部构件耦接所述第一前臂，并适于相对于所述第一前臂围绕第四旋转轴旋转，所述第四旋转轴在自所述第三旋转轴偏离的位置处，所述第一腕部构件适于耦接第一端效器，以及第二悬臂，所述第二悬臂适于独立于所述第一悬臂围绕第五旋转轴旋转，第二上臂，所述第二上臂在自所述第五旋转轴偏离的位置处耦接所述第二悬臂，所述第二上臂能围绕第六旋转轴旋转，第二前臂，所述第二前臂耦接并适于相对于所述第二上臂，围绕第七旋转轴旋转，所述第七旋转轴在自所述第六旋转轴偏离的位置处，第二腕部构件，所述第二腕部构件耦接并适于相对于所述第二前臂，围绕第八旋转轴旋转，所述第八旋转轴在自所述第七旋转轴偏离的位置处，所述第二腕部构件适于耦接第二端效器。

在本发明的另一方面中，提出一种在电子装置处理系统中，传送基板的方法。传送基板的方法包括提供机械手设备，所述机械手设备具有第一悬臂，所述第一悬臂具有与所述第一悬臂能旋转地耦接的第一上臂，与所述第一上臂能旋转地耦接的第一前臂，以及与所述第一前臂能旋转地耦接的第一腕部构件，以及第二悬臂，所述第二悬臂具有与所述第二悬臂能旋转地耦接的第二上臂，与所述第二上臂能旋转地耦接的第二前臂，以及与所述第二前臂能旋转地耦接的第二腕部构件，所述第一悬臂及所述第二悬臂能围绕第一旋转轴旋转，以及围绕所述第一旋转轴相对于所述第二悬臂独立地旋转所述第一悬臂。