[发明专利]感光性树脂组合物、感光性元件、抗蚀图案的形成方法以及配线板的制造方法有效

专利信息
申请号: 201380024877.8 申请日: 2013-05-28
公开(公告)号: CN104303106B 公开(公告)日: 2018-08-07
发明(设计)人: 板垣胜俊;进藤正则 申请(专利权)人: 日立化成株式会社
主分类号: G03F7/004 分类号: G03F7/004
代理公司: 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 代理人: 钟晶;於毓桢
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 感光性 树脂 组合 元件 图案 形成 方法 以及 线板 制造
【权利要求书】:

1.一种感光性树脂组合物,其含有:

粘合剂聚合物、

具有乙烯性不饱和基团的光聚合性化合物、

光聚合引发剂、

苯并三唑化合物、和

碳原子数8~30的脂肪族二胺化合物。

2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物,进一步含有从由三唑化合物和四唑化合物所组成的组中选择的至少1种。

3.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物,所述苯并三唑化合物为无取代的苯并三唑化合物和具有羧基的苯并三唑化合物。

4.根据权利要求2所述的感光性树脂组合物,所述苯并三唑化合物为无取代的苯并三唑化合物和具有羧基的苯并三唑化合物。

5.根据权利要求3所述的感光性树脂组合物,所述具有羧基的苯并三唑化合物为4-羧基苯并三唑和5-羧基苯并三唑的至少一方。

6.根据权利要求1~5中任一项所述的感光性树脂组合物,所述苯并三唑化合物的含量在感光性树脂组合物中的除有机溶剂以外的成分的总量100质量份中为0.001~2质量份。

7.根据权利要求1~5中任一项所述的感光性树脂组合物,所述苯并三唑化合物的含量在感光性树脂组合物中的除有机溶剂以外的成分的总量100质量份中为0.005~0.5质量份。

8.根据权利要求1~5中任一项所述的感光性树脂组合物,所述苯并三唑化合物的含量在感光性树脂组合物中的除有机溶剂以外的成分的总量100质量份中为0.01~0.3质量份。

9.根据权利要求1~5中任一项所述的感光性树脂组合物,所述碳原子数8~30的脂肪族二胺化合物具有碳原子数8~30的链状脂肪族烃基。

10.根据权利要求1~5中任一项所述的感光性树脂组合物,所述碳原子数8~30的脂肪族二胺化合物具有2~5个脂肪族烃基。

11.根据权利要求1~5中任一项所述的感光性树脂组合物,所述碳原子数8~30的脂肪族二胺化合物具有2~3个脂肪族烃基。

12.根据权利要求1~5中任一项所述的感光性树脂组合物,所述碳原子数8~30的脂肪族二胺化合物为碳原子数10~30的脂肪族二胺化合物。

13.根据权利要求1~5中任一项所述的感光性树脂组合物,所述碳原子数8~30的脂肪族二胺化合物为碳原子数12~25的脂肪族二胺化合物。

14.根据权利要求1~5中任一项所述的感光性树脂组合物,所述碳原子数8~30的脂肪族二胺化合物为碳原子数15~25的脂肪族二胺化合物。

15.根据权利要求1~5中任一项所述的感光性树脂组合物,所述碳原子数8~30的脂肪族二胺化合物为碳原子数17~21的脂肪族二胺化合物。

16.根据权利要求1~5中任一项所述的感光性树脂组合物,所述碳原子数8~30的脂肪族二胺化合物为具有碳原子数2~4的亚烷基和碳原子数6~28的链状脂肪族烃基的化合物。

17.根据权利要求1~5中任一项所述的感光性树脂组合物,所述碳原子数8~30的脂肪族二胺化合物为具有碳原子数2~3的亚烷基和碳原子数12~25的链状脂肪族烃基的化合物。

18.根据权利要求1~5中任一项所述的感光性树脂组合物,所述碳原子数8~30的脂肪族二胺化合物为具有碳原子数3的亚烷基和碳原子数12~18的链状脂肪族烃基的化合物。

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