[发明专利]弹性波装置有效
申请号: | 201380025420.9 | 申请日: | 2013-05-13 |
公开(公告)号: | CN104303417B | 公开(公告)日: | 2017-09-15 |
发明(设计)人: | 木村哲也;门田道雄 | 申请(专利权)人: | 株式会社村田制作所 |
主分类号: | H03H9/145 | 分类号: | H03H9/145;H01L41/09;H01L41/18;H03H9/25 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人: | 薛凯 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 弹性 装置 | ||
1.一种弹性波装置,利用了板波,具备:
具有传播的弹性波的波长以下的厚度的压电基板;和
贯通所述压电基板而设的IDT电极。
2.根据权利要求1所述的弹性波装置,其中,
所述压电基板由LiNbO3构成。
3.根据权利要求2所述的弹性波装置,其中,
所述LiNbO3的欧拉角的θ处于100°~140°的范围。
4.根据权利要求1~3中任一项所述的弹性波装置,其中,
所述IDT电极的占空比为0.5以下。
5.根据权利要求1~3中任一项所述的弹性波装置,其中,
所述IDT电极以从Al、Cu、W、Au、Pt、Ta、Mo以及Ni构成的群中选择的1种金属为主体。
6.根据权利要求4所述的弹性波装置,其中,
所述IDT电极以从Al、Cu、W、Au、Pt、Ta、Mo以及Ni构成的群中选择的1种金属为主体。
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