[发明专利]弹性波装置

说明书

技术领域

本发明涉及利用具有传播的弹性波的波长以下的厚度的压电基板的弹性波装置。

背景技术

以往提出各种利用了兰姆波等的板波的弹性波装置。即，通过在小的厚度的压电基板上设置IDT电极，能利用板波来得到各种弹性波特性。例如，在下述的专利文献1中，利用A1模能得到音速10000m/秒以上的高音速的弹性波特性。

另外，在下述的专利文献2中，公开了利用板波的SH模的弹性波装置。在专利文献2中，通过利用SH模，能得到宽频带的特性。

先行技术文献

专利文献

专利文献1：JP特许第4613960号

专利文献2：JP特开2002-152007号公报

发明的概要

发明要解决的课题

但是，在现有的利用板波的弹性波装置中，有由于压电基板厚度或电极膜厚的变化而特性发生较大变化的问题。更具体地，在压电基板厚度或电极膜厚发生变化时，机电耦合系数即频带宽度、音速以及阻带往往会发生较大变化。即，难以稳定地制作所期望的特性的弹性波装置。

另外，为了得到宽频带，需要使IDT电极中的占空比和电极膜厚较小。这种情况下，在GHz带等的高频下，电极的电阻损耗的影响变大。因此，还有在构成谐振器的情况下，谐振电阻变大，在构成滤波器的情况下，损耗变大这样的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供不易产生压电基板厚度或电极膜厚所引起的特性的变化的弹性波装置。

用于解决课题的手段

本发明所涉及的弹性波装置具备：具有传播的弹性波的波长以下的厚度的压电基板；和IDT电极。贯通压电基板地设置上述IDT电极。

在本发明所涉及的弹性波装置的某特定的方面下，压电基板由LiNbO₃构成。在这种情况下，能使相对带宽较大。

在本发明所涉及的弹性波装置的其它特定的方面下，LiNbO₃的欧拉角的θ处于100°～140°的范围。在这种情况下，能进一步增大作为板波的SH波的相对带宽。

在本发明所涉及的弹性波装置的其它特定的方面下，IDT电极的占空比为0.5以下。在这种情况下，能进一步增大作为板波的SH波的相对带宽。

在本发明所涉及的弹性波装置的再另外的特定的方面下，IDT电极以从由Al、Cu、W、Au、Pt、Ta、Mo以及Ni构成的群中选择的1种金属为主体。由于这些金属电阻较低，因此能减少弹性波装置的谐振电阻或损耗。

发明的效果

在本发明所涉及的弹性波装置中，IDT电极贯通压电基板而设。因此，即使使压电基板以及电极厚度发生变化，相对带宽和音速的变化也显著较小。因而，能容易地制造所期望的特性的弹性波装置。

附图说明

图1是本发明的第1实施方式所涉及的弹性波装置的主视截面图。

图2是表示由欧拉角的θ为120°的LiNbO₃构成的压电基板以及电极的膜厚、和相对带宽和占空比的关系的图。

图3是表示由欧拉角的θ为120°的LiNbO₃构成的压电基板以及电极的膜厚、音速和占空比的关系的图。

图4是表示由欧拉角的θ为120°的LiNbO₃构成的压电基板以及电极的膜厚、阻带(stop band)和占空比的关系的图。

图5是表示IDT电极的占空比为0.3的情况下的由欧拉角的θ为120°的LiNbO₃构成的压电基板以及电极膜的厚度和相对带宽的关系的图。

图6是表示IDT电极的占空比为0.3的情况下的由欧拉角的θ为120°的LiNbO₃构成的压电基板以及电极膜的厚度和音速的关系的图。

图7是表示IDT电极的占空比为0.3的情况下的由欧拉角的θ为120°的LiNbO₃构成的压电基板以及电极膜的厚度和阻带的关系的图。

图8是表示比较例的弹性波装置中的压电基板的厚度和占空比、和相对带宽的关系的图。

图9是表示比较例的弹性波装置中的压电基板的厚度和占空比、和音速的关系的图。

图10是表示比较例的弹性波装置中的压电基板的厚度和占空比、和阻带的关系的图。

图11是表示第1实施方式中的LiNbO₃的欧拉角的θ、占空比、和相对带宽的关系的图。