[发明专利]对SEM-EDS数据集中的未知物的聚类分析

权利要求书

1.一种用于确定样本的矿物含量的方法，所述方法包括：

朝向未知成分的样本上的多个点指引电子束；

获得包括数据点的信息，这通过检测作为电子束撞击样本上的多个点的结果所发射的x射线以获取x射线光谱，所述x射线光谱包括所述数据点；

比较样本数据点与已知数据点的集合，已知数据点中的每一个对应于经标识的矿物；

如果经分类的数据点的特征与已知数据点的特征类似，则将样本数据点分类为类似数据点，或者如果经分类的数据点的特征与任何已知数据点都不类似，则将样本数据点分类为不类似数据点；

如果样本数据点被分类为不类似数据点则将样本数据点置于具有与样本数据点的那些特征类似的特征的不类似数据点的聚类中；

重复前面的步骤以获得附加的样本数据点；

对来自相同聚类内的多个样本数据点的光谱数据进行组合以产生表示聚类的改善的光谱；以及

分析聚类的改善的光谱以确定由聚类所表示的矿物的元素含量。

2.根据权利要求1所述的方法，其中对来自相同聚类内的多个样本数据点的光谱数据进行组合包括对来自聚类内的样本数据点的光谱数据的能量通道取平均。

3.根据权利要求2所述的方法，其中对来自相同聚类内的多个样本数据点的光谱数据进行组合还包括对来自聚类内的样本数据点的BSE值取平均。

4.根据权利要求2所述的方法，其中对来自相同聚类内的多个样本数据点的光谱数据进行组合在将每个样本数据点添加到聚类之后被重复。

5.根据权利要求1所述的方法，还包括在分析具有不类似数据点的聚类以确定具有不类似数据点的聚类所表示的矿物的元素含量之前，移除除具有最多数量的不类似数据点的二十个聚类以外的不类似数据点的所有聚类。

6.根据权利要求1或权利要求2所述的方法，还包括在分析具有不类似数据点的聚类以确定具有不类似数据点的组的矿物含量之前，移除具有五个或更少不类似数据点的不类似数据点的所有聚类。

7.根据权利要求1-3中任一项所述的方法，还包括在分析具有不类似数据点的聚类以确定具有不类似数据点的聚类的矿物含量之前，移除具有二十或更少不类似数据点的不类似数据点的所有聚类。

8.根据权利要求1-4中任一项所述的方法，其中，具有不类似数据点的聚类通过进行定量能量弥散x射线光谱学以确定不类似数据点的聚类的元素成分而被分析以确定具有不类似数据点的聚类的矿物含量。

9.根据权利要求5所述的方法，其中，基于能量弥散x射线光谱学分析的结果来变更已知数据点的集合，并且利用经变更的已知数据点的集合来再次处理样本。

10.根据权利要求1-5中任一项所述的方法，其中，具有不类似数据点的聚类通过进行后向散射的电子检测器分析而被分析以确定具有不类似数据点的聚类的平均原子数。

11.根据权利要求10所述的方法，其中，基于后向散射的电子检测器分析的结果来变更已知数据点的集合，并且利用经变更的已知数据点的集合来再次处理样本。

12.根据权利要求1所述的方法，其中，经分类的数据点的每个聚类具有在每个经分类的数据点的添加的情况下重新计算的平均值。

13.根据权利要求9所述的方法，其中，每个经分类的数据点的特征在其被置于其中的聚类的平均特征值的百分之三内。

14.根据权利要求9所述的方法，其中，每个经分类的数据点的特征在其被置于其中的聚类的平均特征值的百分之一内。

15.根据权利要求9所述的方法，其中，每个经分类的数据点的特征在其被置于其中的聚类的平均特征值的百分之0.01内。