[发明专利]燃烧器模块、形成玻璃片的方法以及由此形成的玻璃片

权利要求书

1.一种燃烧器模块，其包括燃烧器气体进口块、下方流动板、上方流动板、燃烧器气流分散器和燃烧器气体排出块，其中：

燃烧器气体进口块包括多个设置在燃烧器气体进口块基部的气体进口以及多个被气体进口通道隔板分开的气体进口通道，气体进口通道从燃烧器气体进口块的气体进口延伸到燃烧器气体进口块的出口表面；

燃烧器气流分散器包括多个被分散通道隔板分开的分散通道，分散通道从燃烧器气流分散器的进口表面延伸到燃烧器气流分散器的出口表面；

各分散通道隔板包括刀口，所述刀口在燃烧器气流分散器的进口表面处包括与下方流动板接触的表面；

燃烧器气体排出块包括多个位于燃烧器气体排出块的燃烧器表面上的孔隙以及多个被气体排出通道隔板分开的气体排出通道，气体排出通道从燃烧器气体排出块的进口表面延伸到多个燃烧器表面通道，燃烧器表面通道从气体排出通道延伸到位于燃烧器表面上的孔隙；

各气体排出通道隔板包括刀口，所述刀口在燃烧器气体排出块的进口表面处包括与上方流动板接触的表面；

下方流动板包括多个被纵向延伸的下方流动板脊面分开的下方流动板压力孔，其中各下方流动板压力孔与气体进口通道中的一个通道以及分散通道中的一个通道流体连通；

上方流动板包括多个被纵向延伸的上方流动板脊面分开的上方流动板压力孔，其中各上方流动板压力孔与分散通道中的一个通道以及气体排出通道中的一个通道流体连通；

燃烧器模块设计成递送燃烧气体、氧化剂、烟炱前体和惰性气体通过气体进口、气体进口通道、下方流动板压力孔、分散通道、上方流动板压力孔、气体排出通道、多个燃烧器表面通道和多个孔隙，到达化学气相沉积工艺中的燃烧位置，从而在靠近燃烧表面的燃烧区域中产生燃烧器火焰；

所述分散通道隔板的刀口的与下方流动板接触的表面和所述气体排出通道隔板的刀口的与上方流动板接触的表面各自包括刀口宽度，所述分散通道隔板和气体排出通道隔板包括通道隔板宽度，并且所述通道隔板宽度大于刀口宽度；

通过燃烧器气流分散器的与下方流动板接触的表面以及燃烧器气体进口块的出口表面之间的下方流动板形成密封；

通过燃烧器气体排出块的与上方流动板接触的表面以及燃烧器气流分散器的出口表面之间的上方流动板形成密封。

2.如权利要求1所述的燃烧器模块，其特征在于：

所述燃烧器模块还包括燃烧气体源、氧化剂源、惰性气体源和烟炱前体源；

所述多个气体进口包括至少一个燃烧气体进口、至少一个氧化剂进口、至少一个惰性气体进口和至少一个前体进口；

所述至少一个燃烧气体进口将燃烧气体从燃烧气体源提供至燃烧器模块；

所述至少一个氧化剂进口将氧化剂从氧化剂源提供至燃烧器模块；

所述至少一个惰性气体进口将惰性气体从惰性气体源提供至燃烧器模块；以及

所述至少一个前体进口将烟炱前体从烟炱前体源提供至燃烧器模块。

3.如权利要求2所述的燃烧器模块，其特征在于：

所述燃烧气体源、氧化剂源、惰性气体源、烟炱前体源或其子集包含选自燃烧气体、氧化剂、烟炱前体和惰性气体的至少两种输入介质的混合物。

4.如权利要求1所述的燃烧器模块，其特征在于，所述通道隔板宽度比刀口宽度大至少一个数量级。

5.如权利要求1所述的燃烧器模块，其特征在于，所述刀口宽度为0.005-0.031英寸。

6.如权利要求1所述的燃烧器模块，其特征在于：

所述刀口宽度为0.005-0.031英寸；并且

所述通道隔板宽度为0.04-0.08英寸。

7.如权利要求1所述的燃烧器模块，其特征在于，所述分散通道隔板的刀口的与下方流动板接触的表面和所述气体排出通道隔板的刀口的与上方流动板接触的表面的硬度大于下方流动板和上方流动板的硬度。

8.如权利要求1所述的燃烧器模块，其特征在于，所述分散通道隔板的刀口或所述气体排出通道隔板的刀口是截顶三角形棱柱。

9.如权利要求1所述的燃烧器模块，其特征在于，所述上方流动板和/或下方流动板包括至少150个与各单独气体进口通道、单独分散通道或单独气体排出通道流体连通的压力孔。