[发明专利]制备多晶陶瓷膜的方法

权利要求书

1.在基材（10）的表面（12）上制备多晶陶瓷膜的方法，其中在表面（12）上导入粒子流并且通过所述粒子在表面（12）上的沉积而形成所述陶瓷膜，其中借助隔板沿着优选方向在表面（12）上导入所述粒子流直到达到第一预定层厚度，该优选方向与表面（12）的平面法线形成了预定的入射角，

其特征在于，

在达到预定的层厚度之后，将所述隔板从粒子流中移除，并且在表面（12）上导入另外的粒子直到达到第二预定层厚度。

2.权利要求1的方法，其特征在于，所述预定入射角选自0-90°的范围和特别选自10-30°的范围。

3.权利要求1或2的方法，其特征在于，所述第一预定层厚度为50至150 nm和优选100 nm。

4.权利要求1至3之一的方法，其特征在于，所述第二预定层厚度为450至600 nm和优选540 nm。

5.权利要求1至4之一的方法，其特征在于，使用由ZnO和/或AlN构成的粒子作为所述粒子。

6.权利要求1至5之一的方法，其特征在于，所述粒子流通过溅射提供。