[发明专利]金属醇盐化合物、薄膜形成用原料、薄膜的制造方法和醇化合物

权利要求书

1.一种金属醇盐化合物，其由下述通式(I)表示，

通式(I)中，R¹表示甲基或乙基，R²表示氢原子或甲基，R³表示碳原子数为1～3的直链或分支状的烷基，M表示金属原子或硅原子，n表示金属原子或硅原子的价数。

2.根据权利要求1所述的金属醇盐化合物，其中，在所述通式(I)中，M是铜、镍、钴。

3.根据权利要求1所述的金属醇盐化合物，其中，在所述通式(I)中，M是铜，R²是氢原子。

4.一种薄膜形成用原料，其含有权利要求1～3中任一项所述的金属醇盐化合物。

5.一种薄膜的制造方法，其中，将使权利要求4所述的薄膜形成用原料气化而得到的含有上述金属醇盐化合物的蒸气导入至设置有基体的成膜腔室内，使该金属醇盐化合物发生分解和/或化学反应，从而在该基体的表面上形成含有金属的薄膜。

6.一种醇化合物，其由下述通式(II)表示，

通式(II)中，R⁴表示甲基或乙基，R⁵表示氢原子或甲基，R⁶表示碳原子数为1～3的直链或分支状的烷基，其中，当R⁵为氢原子时，R⁴表示甲基或乙基，R⁶表示碳原子数为1～3的直链或分支状的烷基；另外，当R⁵为甲基、R⁴为甲基时，R⁶表示碳原子数为3的直链或分支状的烷基；另外，当R⁵为甲基、R⁴为乙基时，R⁶表示碳原子数为1～3的直链或分支状的烷基。