[发明专利]无尘室的监视装置以及无尘室的监视方法在审
| 申请号： | 201380036298.5 | 申请日： | 2013-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN104428823A | 公开（公告）日： | 2015-03-18 |
| 发明（设计）人： | 铃木淳司;鱼山和哉;小西仪纪;奥大辅;本多庆匡 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G08B21/24 | 分类号： | G08B21/24;G08B21/02;G08B25/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李洋;舒艳君 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 无尘室 监视 装置 以及 方法 | ||
1.一种无尘室的监视装置，是用于监视在地板部配置了能够取下的格栅的无尘室的内部的无尘室的监视装置，其特征在于，具备：
监视照相机，其拍摄所述格栅；
监视部，其根据利用所述监视照相机得到的图像信号来检测取下了所述格栅的开口部的有无，并在有开口部的情况下检测接近该开口部的作业人员的有无，并在检测到所述作业人员时输出警报信号；以及
警报发生单元，其从所述监视部接受所述警报信号，并发出警报。
2.根据权利要求1所述的无尘室的监视装置，其特征在于，
在设置在所述无尘室内的半导体制造装置上配设有多个所述监视照相机。
3.根据权利要求1所述的无尘室的监视装置，其特征在于，
所述警报发生单元通过光和声音发出警报。
4.根据权利要求1所述的无尘室的监视装置，其特征在于，
在设置在所述无尘室内的半导体制造装置上配设有多个所述警报发生单元。
5.一种无尘室的监视方法，是用于监视在地板部配置了能够取下的格栅的无尘室的内部的无尘室的监视方法，其特征在于，具备：
通过监视照相机拍摄所述格栅的拍摄工序；
根据在所述拍摄工序中得到的所述监视照相机的图像信号来检测取下了所述格栅的开口部的有无的开口部检测工序；
在所述开口部检测工序中检测到所述开口部的情况下，检测接近该开口部的作业人员的有无的监视工序；以及
在所述监视工序中检测到接近所述开口部的作业人员时发出警报的警报发生工序。
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