[发明专利]无尘室的监视装置以及无尘室的监视方法

说明书

技术领域

本发明涉及无尘室的监视装置以及无尘室的监视方法。

背景技术

以往以来，例如在用于制造半导体装置的半导体生产线中，多数的半导体制造装置被配设在环境洁净的无尘室内。在这样的无尘室中，在内部形成有从顶部朝向地板部流动的洁净空气的下降流，并利用该下降流的流动将无尘室内的尘埃排出至外部。

在这样的无尘室中，为了形成上述的下降流，在地板部分配设有具有许多的开口的格栅。另外，在格栅的下部配设有下降流流通的空间部。并且，能够取下格栅，在取下了格栅的状态下，作业人员能够进入格栅下部的空间部进行作业。

由于在如上述那样取下了格栅的情况下在地板部形成开口部，所以存在作业人员从该开口部坠入下部的危险性。因此，在取下了格栅时，在开口部的周围放置路桩，布置护栏带等来提醒作业人员注意。此外，作为用于防止从建筑工地等的开口部坠落的装置，例如，提出了开口部用挡脚板的支承装置等(例如参照专利文献1。)。

专利文献1：日本特开2010－126876号公报

如上述那样，以往，在无尘室内取下了格栅时，通过路桩、护栏带等提醒作业人员注意。然而，存在在取下了格栅时未迅速地进行路桩、护栏带等的设置，其结果作业人员未注意到开口部的存在，而从开口部坠落这样的事故发生的可能性。另外，即使设置了路桩、护栏带等，也存在作业人员未注意到路桩、护栏带的存在，而从开口部坠落这样的事故发生的可能性。

发明内容

本发明是应对上述以往的情况而成的，目的在于提供一种能够防止作业人员从取下了格栅的开口部坠落的无尘室的监视装置以及无尘室的监视方法。

本发明的无尘室的监视装置是用于监视在地板部配置了能够取下的格栅的无尘室的内部的无尘室的监视装置，具备：监视照相机，其拍摄上述格栅；监视部，其根据来自上述监视照相机的图像信号来检测取下了上述格栅的开口部的有无，并在有开口部的情况下检测接近该开口部的作业人员的有无，并在检测到上述作业人员时输出警报信号；以及警报发生单元，其从上述监视部接受上述警报信号，并发出警报。

本发明的无尘室的监视方法的特征在于，该方法是用于监视在地板部配置了能够取下的格栅的无尘室的内部的无尘室的监视方法，具备：通过监视照相机拍摄上述格栅的拍摄工序；根据在上述拍摄工序中得到的上述监视照相机的图像信号来检测取下了上述格栅的开口部的有无的开口部检测工序；在上述开口部检测工序中检测到上述开口部的情况下，检测接近该开口部的作业人员的有无的监视工序；以及在上述监视工序中检测到接近上述开口部的作业人员时发出警报的警报发生工序。

根据本发明，能够提供一种能够防止作业人员从取下了格栅的开口部坠落的无尘室的监视装置以及无尘室的监视方法。

附图说明

图1是表示本发明的一实施方式的无尘室的监视装置的概要结构的图。

图2是用于说明无尘室的监视装置的设置状态的例子的图。

图3是用于说明无尘室的监视装置的设置状态的例子的图。

图4是表示无尘室的监视动作的流程图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的无尘室的监视装置以及无尘室的监视方法的一实施方式进行说明。

图1是表示本发明的一实施方式所涉及的无尘室的监视装置的概要结构的框图。如图1所示，无尘室的监视装置100具备由计算机等构成的监视部101、由数码照相机等构成的监视照相机102、以及通过光以及警报声等发生警报的警报发生部103。其中，警报发生部103例如具备旋转灯和发生警报声的扬声器等。

如图2所示，监视照相机102例如被安装于配设在无尘室内的半导体制造装置110的顶部等，能够从上方拍摄无尘室的地板表面(格栅)。通常时，在无尘室的地板表面配设有格栅，从顶部朝向地板部形成的洁净空气的下降流经由格栅流入至地板表面的下方的空间部。该格栅下方的空间部的高度取决于无尘室，但例如设为1米至5米左右，若作业人员从无尘室的地板坠落至该空间部则非常危险。

监视照相机102用于拍摄形成在半导体制造装置110之间的通道的地板表面(格栅)。在图2所示的例子中，在半导体制造装置110的周围以包围半导体制造装置110的方式形成有通道111，作业人员能够在这些通道111上通行。因此，配设有四个监视照相机102，以便拍摄半导体制造装置110的四周。