[发明专利]划线方法及划线装置

权利要求书

1.一种划线方法，其特征在于,

在将标记有对准标记的脆性材料基板依据设定在NC装置上的工件坐标系而在工作台的上表面进行了定位的状态下，使划线头和CCD照相机作为一体而利用共用的移动元件在所述工件坐标系中移动，使所述CCD照相机的相机中心与标记在所述脆性材料基板上且处于正交配置关系的至少三个点的对准标记M1、M2及M3的在所述工件坐标系中的设定坐标值M1(X＝X1，Y＝Y1)、M2(X＝X2，Y＝Y1)及M3(X＝X1，Y＝Y2)对齐，对各对准标记M1、M2及M3进行拍摄，对拍摄到的对准标记M1、M2及M3的图像进行图像处理，基于该图像处理的结果对所述对准标记M1、M2及M3各自的标记中心M1C、M2C及M3C的在所述工件坐标系中的实际位置的坐标值进行计量，基于这些标记中心M1C、M2C及M3C的计量得到的各坐标值，以及所述对准标记M1、M2及M3的设定坐标值M1(X＝X1，Y＝Y1)、M2(X＝X2，Y＝Y1)及M3(X＝X1，Y＝Y2)进行运算处理，变更为使所述对准标记M1的标记中心M1C的实际位置的所述坐标值成为被指示的坐标值(X＝0，Y＝0)，使所述对准标记M2的标记中心M2C的实际位置的所述坐标值成为被指示的坐标值(X＝X2–X1，Y＝0)，使所述对准标记M3的标记中心M3C的实际位置的所述坐标值成为被指示的坐标值(X＝0，Y＝Y2–Y1)的工件坐标系，在变更后的该工件坐标系中，使划线头基于程序进行移动，在处于定位状态的所述脆性材料基板上形成依据对准标记得到的划线。

2.如权利要求1所述的划线方法，其特征在于，

使划线头沿X轴移动以及沿Y轴移动。

3.如权利要求1或2所述的划线方法，其特征在于，

脆性材料基板是玻璃基板。

4.一种划线装置，其特征在于，包括：

工件工作台，该工件工作台在上表面具有X方向止挡件和Y方向止挡件，所述X方向止挡件在前端边与设定在NC装置上的工件坐标系的X轴一致，所述Y方向止挡件在前端边与设定在NC装置上的所述工件坐标系的Y轴一致；

划线头，该划线头在依据所述工件工作台的所述X方向止挡件的前端边及Y方向止挡件的前端边而定位于所述工件坐标系的脆性材料基板的上方，在工件坐标系中移动而在所述脆性材料基板上形成划线；

CCD照相机，该CCD照相机与所述划线头并列设置于共用支架，与划线头一体地在工件坐标系中移动；

共用的X轴移动元件及Y轴移动元件，所述共用的X轴移动元件及Y轴移动元件使所述划线头和CCD照相机作为一体而在工件坐标系中移动；

图像处理装置，所述图像处理装置发出由所述CCD照相机实施的拍摄指示，对拍摄到的图像进行图像处理及运算处理；以及

NC装置，该NC装置对由所述图像处理装置向CCD照相机发出的拍摄指示、图像处理指示及运算处理指示、由所述划线头进行的向脆性材料基板形成划线、所述共用的X轴移动元件及Y轴移动元件的动作进行控制，

NC装置在使标记有对准标记的脆性材料基板与所述工件工作台的所述X方向止挡件的前端边及Y方向止挡件的前端边对齐而定位在所述工件坐标系中的状态下，使划线头与CCD照相机作为一体而在工件坐标系中移动，使所述CCD照相机的相机中心与标记在脆性材料基板上且处于正交配置关系的至少三个点的对准标记M1、M2及M3的在所述工件坐标系中的设定坐标值M1(X＝X1，Y＝Y1)、M2(X＝X2，Y＝Y1)及M3(X＝X1，Y＝Y2)对齐，利用CCD照相机对各对准标记M1、M2及M3进行拍摄，利用图像处理装置对拍摄到的图像进行图像处理及运算处理，对所述对准标记M1、M2及M3各自的标记中心M1C、M2C及M3C的在所述工件坐标系中的实际位置的坐标值进行计量，基于来自图像处理装置的计量得到的标记中心M1C、M2C及M3C各自的坐标值，以及所述对准标记M1、M2及M3的设定坐标值M1(X＝X1，Y＝Y1)、M2(X＝X2，Y＝Y1)及M3(X＝X1，Y＝Y2)进行运算处理，变更为使所述对准标记M1的标记中心M1C的实际位置的所述坐标值成为被指示的坐标值(X＝0，Y＝0)，使所述对准标记M2的标记中心M2C的实际位置的所述坐标值成为被指示的坐标值(X＝X2–X1，Y＝0)，使所述对准标记M3的标记中心M3C的实际位置的所述坐标值成为被指示的坐标值(X＝0，Y＝Y2–Y1)的工件坐标系，在变更后的该工件坐标系中，为了使划线头基于程序进行移动，而利用划线头在处于定位状态的所述脆性材料基板上形成依据对准标记得到的划线，对CCD照相机的拍摄指示、共用的X轴移动元件及Y轴移动元件的动作进行控制。